[实用新型]形状测量装置

权利要求书

1.一种形状测量装置，其具备向被测量物体的设置面投射光的投光部和接收由所述投光部投射的光的受光部，通过所述受光部的输出来测量被测量物体的形状和尺寸，其特征在于， 

所述投光部具备光源、杆积分器及投光光学系统，所述杆积分器中入射从所述光源射出的光，所述投光光学系统具有能够取入从所述杆积分器的光射出面射出的全光束的开口数和视场，且至少在所述被测量物体侧呈远心状态， 

所述受光部具备拍摄元件和物体侧远心受光光学系统，所述拍摄元件接收被测量物体的投影影像，所述物体侧远心受光光学系统使所述设置面与所述拍摄元件的受光面成为共轭关系， 

所述投光光学系统内部的开口光圈与所述受光光学系统内部的开口光圈处于共轭关系。 

2.根据权利要求1所述的形状测量装置，其特征在于， 

所述投光光学系统使所述杆积分器的光射出面与所述设置面成为共轭关系。 

3.根据权利要求1或2所述的形状测量装置，其特征在于， 

所述光射出面的外周形状与所述设置面的外周形状相似。 

4.根据权利要求3所述的形状测量装置，其特征在于， 

形成于所述设置面的所述光射出面的影像大于等于所述设置面的外周形状。 

5.一种形状测量装置，其具备向被测量物体的设置面投射光的投光部和接收由所述投光部投射的光的受光部，通过所述受光部的输出来测量被测量物体的形状和尺寸，其特征在于， 

所述投光部具备光源、杆积分器及投光光学系统，所述杆积分器中入射从所述光源射出的光，所述投光光学系统具有能够取入从所述杆积分器的光射出面射出的全光束的开口数和视场，且至少在所述被测量物体侧呈远心状态， 

所述受光部具备拍摄元件和物体侧远心受光光学系统，所述拍摄元件接收被测量物体的投影影像，所述物体侧远心受光光学系统使所述设置面与所述拍 摄元件的受光面成为共轭关系， 

所述投光光学系统内部的开口光圈与所述受光光学系统内部的开口光圈处于共轭关系， 

所述投光光学系统从所述杆积分器侧依次具备第一透镜组、开口光圈、光路折射镜以及第二透镜组。 

6.根据权利要求5所述的形状测量装置，其特征在于， 

所述投光光学系统使所述杆积分器的光射出面与所述设置面成为共轭关系。 

7.根据权利要求5所述的形状测量装置，其特征在于， 

所述光源为发光二极管。 

8.根据权利要求7所述的形状测量装置，其特征在于， 

所述投光光学系统使所述杆积分器的光射出面与所述设置面成为共轭关系。 

9.根据权利要求5至8中任一项所述的形状测量装置，其特征在于， 

所述光射出面的外周形状与所述设置面的外周形状相似。 

10.根据权利要求9所述的形状测量装置，其特征在于， 

形成于所述设置面的所述光射出面的影像大于等于所述设置面的外周形状。 

11.一种形状测量装置，其具备被向测量物体的设置面投射光的投光部和接收由所述投光部投射的光的受光部，通过所述受光部的输出来测量被测量物体的形状和尺寸，其特征在于， 

所述投光部具备光源、杆积分器及投光光学系统，所述杆积分器中入射从所述光源射出的光，所述投光光学系统具有能够取入从所述杆积分器的光射出面射出的全光束的开口数和视场，且至少在所述被测量物体侧呈远心状态， 

所述受光部具备拍摄元件和物体侧远心受光光学系统，所述拍摄元件接收被测量物体的投影影像，所述物体侧远心受光光学系统使所述设置面与所述拍摄元件的受光面成为共轭关系， 

所述投光光学系统内部的开口光圈与所述受光光学系统内部的开口光圈处于共轭关系， 

所述光源为发光二极管。 

12.根据权利要求11所述的形状测量装置，其特征在于， 

所述投光光学系统使所述杆积分器的光射出面与所述设置面成为共轭关系。 

13.根据权利要求11或12所述的形状测量装置，其特征在于， 

所述光射出面的外周形状与所述设置面的外周形状相似。 

14.根据权利要求13所述的形状测量装置，其特征在于， 

形成于所述设置面的所述光射出面的影像大于等于所述设置面的外周形状。