[实用新型]一种改进型化学镀铜装置有效
申请号: | 201420209006.5 | 申请日: | 2014-04-25 |
公开(公告)号: | CN203855648U | 公开(公告)日: | 2014-10-01 |
发明(设计)人: | 王兴平;张代琼;朱中正 | 申请(专利权)人: | 确信乐思化学(上海)有限公司 |
主分类号: | C23C18/38 | 分类号: | C23C18/38 |
代理公司: | 上海天翔知识产权代理有限公司 31224 | 代理人: | 陆佳 |
地址: | 201417 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 改进型 化学 镀铜 装置 | ||
1.一种改进型化学镀铜装置,其特征在于,包括:
一反应槽体,所述反应槽体包括相互独立设置的主槽和附槽,所述主槽与所述附槽之间通过一安装有过滤网的隔板分割开来,所述过滤网位于隔板上部,加工溶液经过滤网流进或流出主槽;
所述主槽两侧滑动设置一超声波换能器,所述超声波换能器连接一超声波发生器,
所述主槽的上方还设置一气泵,一气泵通过管路连接的酸液槽,以及一与所述管路连接的若干个高压喷头,所述高压喷头设置于主槽的上端,且高压喷头均朝向主槽底部。
2.根据权利要求1所述的一种改进型化学镀铜装置,其特征在于:所述主槽口与所述附槽口处均设置一多孔状隔板,所述多孔状隔板用于对循环过滤装置吸入的溶液进行过滤。
3.根据权利要求1所述的一种改进型化学镀铜装置,其特征在于:所述反应槽体的下方设置一镀铜液回收槽,所述镀铜液回收槽上设置有第一排液管和第二排液管,该第一排液管连接有化学镀铜溶液承接槽,第二排液管连接有反应槽体的主槽,
还包括一镀铜液储存槽,所述镀铜液储存槽和所述镀铜液回收槽通过第三排液管连通;所述镀铜液储存槽通过第四排液管连接有反应槽体的附槽,
上述第一排液管,第二排液管,第三排液管以及第四排液管上均设置有阀门,且所述第三排液管和第四排液管上还设置有液流泵。
4.根据权利要求3所述的一种改进型化学镀铜装置,其特征在于:所述镀铜液储存槽下方还设置一废液回收槽,该废液回收槽正对于镀铜液储存槽的出料口,且镀铜液储存槽上方还设置有加料口。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C18-02 .热分解法
C23C18-14 .辐射分解法,例如光分解、粒子辐射
C23C18-16 .还原法或置换法,例如无电流镀
C23C18-54 .接触镀,即无电流化学镀
C23C18-18 ..待镀材料的预处理