[实用新型]一种用于拉制硅芯的炉室

说明书

【技术领域】

本实用新型涉及人工晶体领域，尤其涉及一种炉室，具体涉及一种用于拉制硅芯的炉室。

【背景技术】

已知的，硅芯炉作为硅芯的拉制设备在人工晶体领域得到了广泛的应用，而硅芯的拉制需要在密闭的炉室中进行，由于炉室的高度较高，为了方便炉室的加工、安装和运输，如附图1所示，需要将炉室分为副炉室1和主炉室3，将副炉室1和主炉室3连接形成一个密闭的腔体，然后在副炉室1和主炉室3之间设置密封环A2形成一个密闭的腔体；在拉制硅芯前要完成装炉、抽真空、充保护性气体、对原料棒加热等工序，然后当原料棒端头融化后，利用籽晶夹头带动籽晶下降，将籽晶穿过高频线圈的拉制孔插入到原料棒的融液，当籽晶的端头与融液融为一体后，通过籽晶夹头带动籽晶缓慢上升，使融液逐渐脱离高频线圈的拉制孔并结晶，然而在实际拉制硅芯的过程中，由于籽晶松动，或拉制完一组硅芯需要取出硅芯后更换籽晶夹头，或硅芯炉的上轴升降系统出现故障等情况，为了防止原料棒由于骤冷崩裂，都需要先逐渐降低高频线圈对原料棒的加热温度，当高频线圈停止对原料棒进行加热后，原料棒的上端头自然冷却后才能打开炉室，然后进行籽晶的紧固或取出已经拉制好的硅芯或对上轴升降系统进行检修等，在进行二次拉制时，需要再次进行抽真空、充保护性气体、对原料棒加热等工序，降低了生产效率等。

【发明内容】

为了实现所述发明目的，本实用新型提供了一种用于拉制硅芯的炉室，本实用新型通过在副炉室和主炉室之间设置阀门，实现了在硅芯拉制过程中，在不停炉的情况下快速将副炉室和主炉室形成两个密闭的腔体，本实用新型具有结构简单，使用方便等特点。

为实现上述发明目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种用于拉制硅芯的炉室，包括副炉室、主炉室、抽气口和阀门，在所述副炉室上设有抽气口，在副炉室和主炉室之间设有阀门形成所述的用于拉制硅芯的炉室。

所述的用于拉制硅芯的炉室，所述阀门与主炉室和副炉室之间设有密封环A。

所述的用于拉制硅芯的炉室，所述阀门与主炉室之间设有下过渡板，所述下过渡板上设有通孔，在下过渡板与主炉室之间设有密封环A。

所述的用于拉制硅芯的炉室，所述下过渡板内设有冷却介质通道。

所述的用于拉制硅芯的炉室，所述阀门与副炉室之间设有上过渡板，所述上过渡板上设有通孔，在上过渡板与副炉室之间设有密封环A。

所述的用于拉制硅芯的炉室，所述上过渡板与下过渡板之间设有垫块。

所述的用于拉制硅芯的炉室，所述阀门的手柄连接电动马达或气动马达或液压马达或手轮。

所述的用于拉制硅芯的炉室，所述电动马达为电机，所述电机的一端连接阀门的手柄，电机的另一端连接手轮，在所述手轮与电机之间设有离合器。

所述的用于拉制硅芯的炉室，所述阀门包括插板阀或蝶阀或翻板阀。

由于采用如上所述的技术方案，本实用新型具有如下有益效果：

本实用新型所述的一种用于拉制硅芯的炉室，本实用新型通过在副炉室和主炉室之间设置阀门，实现了在硅芯拉制过程中，在不停炉的情况下将副炉室和主炉室形成两个密闭的腔体，对副炉室完成操作后，再但对对副炉室进行抽真空、充保护性气体，待主炉室与副炉室的压力达到平衡时，开启阀门，使主炉室和副炉室形成一个密闭的腔体，本实用新型具有结构简单，使用方便等特点，在需要取出拉制完成的硅芯更换籽晶夹头时无需停止对原料棒加热就可以完成操作，大大提高了硅芯的生产效率等。

【附图说明】

图1是现有硅芯炉室的结构示意图；

图2是本实用新型的结构示意图；

图中：1、副炉室；2、密封环A；3、主炉室；4、抽气口；5、插板阀；6、垫块；7、冷却介质通道；8、上过渡板；9、密封环B；10、电机；11、离合器；12、手轮；13、下过渡板。

【具体实施方式】

通过下面的实施例可以更详细的解释本实用新型，公开本实用新型的目的旨在保护本实用新型范围内的一切变化和改进，本实用新型并不局限于下面的实施例；

结合附图2所述的一种用于拉制硅芯的炉室，包括副炉室1、主炉室3、抽气口4和阀门，所述阀门包括插板阀5或蝶阀或翻板阀，其中优选插板阀5，以插板阀5为例，在所述副炉室1上设有抽气口4，所述抽气口4通过管道连接真空泵，在副炉室1的上部设有具有开合功能的炉门，所述主炉室3上分别设有具有开合功能的炉门、用于安装同轴电缆的同轴电缆入口、用于观察原料棒融化状态和硅芯拉制状态的观察镜、用于排气的排气口、用于充气的充气口和用于抽气的抽气口等；