[实用新型]劈刀限位结构

说明书

技术领域

本实用新型涉及劈裂晶圆的晶圆劈裂机，尤其是涉及晶圆劈裂机的劈裂结构。

背景技术

关于劈刀切割制程，请参阅图1与图2所示，为已知技术的正视示意图与侧视示意图，其包含有一乘载板1、一击锤单元2、一劈裂刀3与一晶圆支撑载台4；该乘载板1的一侧设置于一滑块5上，且该滑块5于一滑轨6上滑移，该乘载板1通过该滑块5而与该滑轨6进行相对移动，藉以改变该劈裂刀3的高度，已准备对该晶圆支撑载台4上的一晶圆7进行劈裂。而该击锤单元2与该劈裂刀3设置于该乘载板1的另一侧，且该劈裂刀3通过一弹性滑移板8设置于该乘载板1上，该弹性滑移板8通过一弹簧9的回复力而可复位地滑移设置于该乘载板1上，亦即该劈裂刀3为可复位滑移地相对该乘载板1移动。

此已知的劈刀切割装置的运作方式，当该晶圆7置于该晶圆支撑载台4上时，该滑块5相对该滑轨6滑移，使该乘载板1滑动至该劈裂刀3接近该晶圆7，再由该击锤单元2对该劈裂刀3实施撞击，使该劈裂刀3通过该弹性滑移板8压缩该弹簧9，朝该晶圆支撑载台4上的该晶圆7位移而实施劈裂的动作，并通过该弹簧9的弹力而复位。

然而此通过该击锤单元2敲击该劈裂刀3的劈裂方式，事实上无法精确控制该劈裂刀3的位移量，换句话说，该击锤单元2纵然提供相同的敲击力道，由于外部环境的不同，该劈裂刀3的位移量事实上会有相当的差异，其导致该劈裂刀3可能会过度挤压该晶圆7，造成该晶圆7会有崩角的现象，而造成劈裂良率下降。

请再参阅图3所示，为已知另一晶圆劈裂结构图，其为通过对称的至少两个弹片9A来固定劈裂刀3，劈裂刀3被击锤单元2撞击之后，该至少两个弹片9A会变形，而使劈裂刀3下移，以供执行劈列作业，同样地该劈裂刀3被击锤单元2撞击之后，该至少两个弹片9A的变形无法精确控制，亦即劈裂刀3的下移量会不受控制，而造成劈裂良率下降。

显然已知劈裂结构，其劈裂刀3的行程无法精确控制，而造成劈裂良率的下降，无法满足使用上的需求。

实用新型内容

爰此，本实用新型的主要目的在于提供一种劈刀限位结构，其可限制劈裂刀的位移行程，以提升制程良率。

基于上述目的，本实用新型为一种劈刀限位结构，供劈裂一晶圆，该劈刀限位结构包含一乘载板、一弹性固定件、一劈裂刀、一振动单元与一限位单元，其中该弹性固定件能弹性复位地固定于该乘载板上，该劈裂刀朝向该晶圆且固定于该弹性固定件上，该振动单元固定于该乘载板上且具有驱使该劈裂刀朝该晶圆移动的一位移部，该限位单元具有一下限位块，该下限位块固定于该乘载板上且卡抵该劈裂刀以限制该劈裂刀穿入该晶圆的移动量。

进一步地，所述弹性固定件为一弹性滑移板，所述弹性滑移板与所述乘载板相对地滑移，且所述弹性滑移板与所述乘载板之间设置有一弹簧，所述弹簧的两端分别卡抵所述弹性滑移板与所述乘载板。

进一步地，所述限位单元具有一上限位块，所述上限位块固定于所述乘载板上，且所述弹簧推移所述弹性滑移板以抵压于所述上限位块。

进一步地，所述弹性滑移板嵌入所述乘载板而与所述乘载板相对地滑移。

进一步地，所述弹性滑移板具有容置所述弹簧的一缺槽，所述乘载板具有伸入所述缺槽并卡抵所述弹簧的一横板。

进一步地，所述弹性固定件为对称设置的至少两个弹片，所述至少两个弹片固定所述劈裂刀，且固定于所述乘载板上，并且所述劈裂刀具有供所述下限位块卡抵的一凸缘。

进一步地，所述乘载板固定于一滑块上，且所述滑块于一滑轨上滑移。

进一步地，所述滑轨固定于一劈裂机上。

据此，通过该下限位块的卡抵可以限制该劈裂刀朝该晶圆的位移量，避免该劈裂刀的行程太大，造成该劈裂刀过度挤压该晶圆而产生崩角，藉以满足提升劈裂良率的需求。

附图说明

图1为已知晶圆劈裂结构正视示意图。

图2为已知晶圆劈裂结构侧视示意图。

图3为另一已知晶圆劈裂结构示意图。

图4为本实用新型第一实施例结构图。

图5为本实用新型第一实施例劈裂刀位移结构图。

图6为本实用新型第二实施例结构图。

具体实施方式

为俾使贵委员对本实用新型的特征、目的及功效，有着更加深入的了解与认同，兹列举优选实施例并配合图式说明如后：