[实用新型]超精机械运动控制装置

权利要求书

1.一种超精机械运动控制装置，其特征在于：包括非导磁性材质的直线轴，直线轴上套接有轴套，所述直线轴内设有若干间隔固定排列的第一磁体，轴套内设有第二磁体，第一磁体与第二磁体两者的磁极方向均与直线轴的轴向平行；通过第一磁体和第二磁体所产生的磁场，轴套沿直线轴做轴向往复的机械运动；轴套上设有高气压进入的入口，轴套与直线轴接触的内环壁上设有气孔。

2.如权利要求1所述的超精机械运动控制装置，其特征在于：所述第一磁体为环形的永磁体，第二磁体为电磁线圈。

3.如权利要求1所述的超精机械运动控制装置，其特征在于：所述第一磁体为电磁线圈，第二磁体为环形的永磁体。

4.如权利要求1所述的超精机械运动控制装置，其特征在于：所述若干间隔固定排列的第一磁体之间用非导磁体性质的物体隔离。

5.如权利要求1所述的超精机械运动控制装置，其特征在于:所述直线轴上设有光栅刻度尺，轴套上设有光栅读数头，所述光栅读数头连接有用于连接电源以及传递数据的电路。

6.如权利要求1所述的超精机械运动控制装置，其特征在于:所述轴套的内环壁为气膜。

7.如权利要求1所述的超精机械运动控制装置，其特征在于:所述直线轴的横截面为圆形或椭圆形。

8.如权利要求1所述的超精机械运动控制装置，其特征在于:所述直线轴的材质为无机玻璃或铝或铜或陶瓷。