[实用新型]加速激活药液的装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种加速激活药液的装置，属于晶硅太阳能电池技术领域。  

背景技术

在常规晶硅太阳能电池工艺中，酸制绒和湿法刻蚀是普遍使用的成熟技术，酸制绒可以减少反射率，去除损伤层，湿法刻蚀可以实现背面抛光，边缘绝缘，均可以提高太阳能电池转换效率。 

各电池厂商采用的酸制绒和湿法刻蚀设备在设计上有一个共同点，即主槽体的工艺原理是类似的：HNO3与HF的混合液与硅片反应时， HNO3先将硅片氧化，HF再与其氧化产物反应。该工艺过程可以稳定、有效的实现酸制绒和湿法刻蚀设备功能，并且比较容易控制，适合量产使用，但却存在一个问题，即药液激活问题。此反应前序反应（氧化反应）为慢反应，是影响反应速率的主要部分；而在氧化反应中，起氧化作用的并不是HNO3，而是HNO3在反应过程中的副产物亚硝酸根离子，因此激活药液的主要目的是为了提高药液中的亚硝酸根浓度。因此在PM之后或者暂停生产之后，再进行生产时，需要使用硅片进行长时间试跑，以提高药液中的亚硝酸根浓度，激活药液，保证刻蚀速率稳定可控，这样就会带来2个负面影响：一是需要消耗大量硅片；二是需要消耗2-3小时的时间，极大地影响车间正常生产。 

发明内容

本发明的目的是提供一种加速激活药液的装置，解决上述现有设备存在的缺陷，通过本发明使酸制绒和湿法刻蚀设备的药液激活时间大幅减少，减少由于药液激活所带来的产能浪费问题，降低硅片成本。 

本发明的目的是通过以下装置实现的，一种加速激活药液的装置，包括主槽体，其特征是，设置存放亚硝酸盐溶液的缓存槽，缓存槽经药液管路连接主槽体，药液管路中串接电磁阀，电磁阀接电脑，缓存槽经管道外接氮气源，缓存槽上设置排风管连接外围排风抽走氮气，主槽体内设置鼓泡机构，鼓泡机构连接氮气。 

所述鼓泡机构是一根布满气孔的氮气管，氮气管连接氮气。 

本发明有如下优点：1）在现有酸制绒和湿法刻蚀设备的基础上，对槽体的构造进行改善，但配置变动较少，改造成本较小；2）在本发明中，实现了一种加速激活药液的装置，可以在PM之后或者暂停生产之后，再进行生产时添加亚硝酸盐溶液以提高亚硝酸根浓度，加速激活药液，减少由于药液激活所带来的产能浪费问题，也降低了硅片成本；本发明结构简单，实用性强，有利于降低由于药液激活所带来的产能浪费问题和降低硅片成本。 

附图说明

图1为本发明结构示意图； 

图2为本发明中的鼓泡机构结构示意图；

图中，1缓存槽，2药液管路，3主槽体，4鼓泡机构，5气孔，6管道，7氮气源，8排风管，9电磁阀。

具体实施方式

结合附图和实施例进一步说明本发明，如图1、2所示，本发明是在现有酸制绒和湿法刻蚀设备的基础上进行的改进，硬件配置变动较少，包括存放亚硝酸盐溶液的缓存槽1，缓存槽1经药液管路2连接的主槽体3，药液管路2中串接电磁阀9，电磁阀9接电脑，缓存槽1经管道6外接氮气源7，缓存槽1通过其排风管8连接外围排风抽走氮气，主槽体3内设置鼓泡机构4，鼓泡机构4是一根布满气孔5的氮气管，氮气管连接氮气，在缓存槽1中存有亚硝酸盐溶液，在酸制绒和湿法刻蚀设备PM之后或者暂停生产之后，再进行生产时，可以控制电磁阀9通过药液管路2向主槽体3中添加一定量的亚硝酸盐溶液，然后向鼓泡机构4中通入氮气，在主槽体3产生大量气泡，可以使药液混合均匀；由于本装置可以向主槽体3中添加亚硝酸盐溶液，提高了亚硝酸根浓度，加速激活药液，减少由于药液激活所带来的产能浪费问题，也降低了硅片成本。 

以上所述的具体实施例，对本发明的目的，技术方案，有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述的仅是本发明的具体实施例而已，并不用限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所做的任何修改，等同替换，改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。