[实用新型]一种具有真空气压监控功能的感光膜曝光装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种具有真空气压监控功能的感光膜曝光装置。

背景技术

在FPC板制造工艺中，主要有FPC板的清洗、印刷（烘烤）、曝光显影、图像电镀极大工序。其中，在曝光显影工序中有一道外层曝光的工序，该工序使用一种手动曝光机。该手动曝光机包括一个玻璃台面，用以放置待曝光的FPC板，以及一个贴膜层，用以贴敷定位所述FPC板。玻璃台面与贴敷膜层之间，还设有抽气口，工作时，先将FPC板放置于所述玻璃台面上，再将贴敷膜层贴敷在所述FPC板的表面，然后通过所述抽气口抽气，开启光源，对待曝光的FPC板的下表面进行曝光。此装置仅能完成FPC板的单面曝光，对于需要双面曝光的FPC板需要进行两次曝光操作，效率低，耗时长。

并且，目前使用的曝光机一般通过目测凭经验估计腔体内的的真空度，误差大，且无法控制腔体内的真空度，可能会引起真空度抽气过度而导致玻璃盖板爆裂，或者由于真空度太低，空气残留过多，造成曝光不良。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术的缺点，提供一种方便装载、提高曝光效率、具有真空气压监控功能的感光膜曝光装置。

本实用新型的目的通过以下技术方案来实现：一种具有真空气压监控功能的感光膜曝光装置，它包括真空气压监控装置、装载框架、以及依次连接为一体的曝光箱和装载箱，曝光箱和装载箱上均设置有用于安装装载框架的水平导轨，曝光箱位于水平导轨的上下两侧均设置有曝光光源，所述的装载框架包括上框架和下框架，上框架和下框架通过设置于后侧面上的合页连接为一体，上框架的底面上设置有上透光板，下框架的顶面上设置有容置上框架的凹槽，该凹槽的底面上设置有下透光板，下框架内部设置有抽真空通道，下框架位于上透光板和下透光板之间的部分上设置有抽真空气孔，下框架上还设置有用于连接抽真空管路的抽真空接头，抽真空接头通过抽真空通道与抽真空气孔连通，所述的下框架的左右两侧均设置有水平凸棱，下框架的水平凸棱滑动安装于曝光箱和装载箱的水平导轨内，所述的真空气压监控装置包括真空泵、气压传感器和控制器，抽真空接头通过气路与真空泵吸气口相连，气路上设置有控制气路通断的电磁阀，气压传感器安装于下框架的抽真空通道内，气压传感器与控制器的输入端连接，真空泵和电磁阀分别与控制器的输出端连接。

所述的上框架的前端面上安装有把手。

所述的上框架的前端面设置有凸块，下框架上设置有与凸块相配合的缺口，凸块的前端面与下框架的前端面相平齐，把手安装于凸块的前端面上。

本实用新型具有以下优点：本实用新型可以同时对薄板两个表面贴附的感光膜同时进行曝光，从而提高了曝光效率，装载框架的结构设计使得装载装置与曝光光源安装结构为分体结构，装载工作方便、容易进行。通过设置真空气压监控装置，从而能够准确的检测下透光板和上透光板之间的真空气压数据，确保曝光过程中下透光板和上透光板之间的真空气压数值，从而保证曝光质量；当抽真空达到要求的真空气压数值时，控制器会控制电磁阀关闭、控制真空泵停止工作，从而延长真空泵的使用寿命。

附图说明

图1 为本实用新型的结构示意图

图2 为本实用新型的装载框架的俯视结构示意图

图3 为图2沿A-A截面的剖视图

图4 为本实用新型的下框架的剖视结构示意图

图5 为本实用新型曝光时的结构示意图

图6 为本实用新型真空气压监控装置的框图

图中，1-装载框架，2-曝光箱，3-装载箱，4-水平导轨A，5-水平导轨B，6-曝光光源，7-合页，8-上透光板，9-凹槽，10-下透光板，11-抽真空气孔，12-抽真空接头，13-水平凸棱，14-把手，15-凸块，16-缺口，17-上框架，18-下框架。 

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型做进一步的描述，本实用新型的保护范围不局限于以下所述：