[实用新型]一种透明光学元件表面质量的检测装置

说明书

技术领域

本实用新型属于光学元件检测设备技术领域，尤其涉及一种透明光学元件表面质量的检测装置。

背景技术

透明光学材料是各类光学系统中非常重要的元件。常用的透明光学材料有各类玻璃，熔融石英，以及各种晶体材料。透明光学元件在很多光学系统里使用时，常常会在表面镀上诸如增透膜或高反膜等一些薄膜层，有时也会与其他光学元件材料或者塑料支架紧密贴合，实现某些特定功能。以上这些应用都对相关光学材料的特性提出了很高要求，如材料表面要具有很高的光学平整度，没有污染，表面及亚表面无超标缺陷等。而相关元件的生产加工要经过多道工序，在加工过程中不可避免的会产生各种污染和缺陷。这些污染和缺陷的尺度很多都在微米量级、亚微米甚至纳米量级，普通肉眼检测方法无法有效识别。研发快速、高灵敏度的污染和缺陷检测方法因此非常必要。

常用的表面缺陷检测方法有明场成像技术，即利用光束照明材料上的待检测区域，由材料反射或透射的光束经过成像系统，这样就获得了的待检测区域的图像，通过分析图象来识别缺陷。如专利(CN 203069531 U)公开了一种透明光学材料表面缺陷的检测装置，采用内全反射式的照明方法，即将照明光束引入到透明光学元件内部，并在透明光学元件内部的前、后表面之间进行多次全反射，对透明光学元件的前、后表面多个区域同时照明，利用表面缺陷所引起的散射光和折射光进行暗场成像来实现对表面缺陷的检测。该检测装置利用内全反射式照明，实现对光能的重复利用，并且可以对多区域同时进行暗场成像检测，特别是适用于大口径的透明光学元件的表面及亚表面缺陷的高灵敏度检测。

但上述检测装置也存在着缺陷，针对7mm以下的透明光学元件的表面检测工作，上述的检测方法就无法凑效，现有技术中也没有公开任何一种能够自动化双面检测透明光学元件的自动化设备，也没有检测粘贴在塑胶支架上的透明光学元件表面质量的设备，现在工艺是通过人工人眼检测或是借助电子显微镜来完成，这导致对小尺寸光学元件的检测效率低下。

发明内容

本实用新型针对现有的技术存在的上述问题，提供一种透明光学元件表面质量的检测装置，本实用新型所要解决的技术问题是：如何持续和快速的检测透明光学元件的正面和反面的表面质量。

本实用新型的目的可通过下列技术方案来实现：

一种透明光学元件表面质量的检测装置，其特征在于，所述检测装置包括机架、托板和检测转盘，所述托板设置在机架上，且所述托板和机架之间设有能使托板沿X轴和Y轴移动的两轴驱动机构，所述检测转盘固定在托板的上方且两者沿该检测转盘的周向能够相对转动，所述托板上设有能够驱动所述检测转盘转动的旋转机构，所述检测转盘上具有两个对称分布在该检测转盘旋转中心两侧的检测工位，每个检测工位均能够放置多个透明光学元件，每个检测工位的上方均设有一个对应的检测相机，其中一个检测工位的上方设有对应的光源一，另一个检测工位的下方设有对应的光源二，所述检测相机、光源一和光源二均固定在所述机架上。