[实用新型]晶圆与晶圆载具接合分离机及其晶圆接合分离升降单元

权利要求书

1.一种晶圆与晶圆载具接合分离机，其特征在于：其具有： 

 一晶圆定位单元；

 一晶圆载具供应单元，其系相邻于该晶圆定位单元；

 一晶圆载具位移单元，其系相邻于该晶圆载具供应单元； 

 一晶圆载具定位单元，其系相邻于晶圆载具供应单元；

 一晶圆移动单元，其系相邻于该晶圆定位单元；以及

 一晶圆接合分离升降单元，其系设于该晶圆载具定位单元的下方。

2.根据权利要求1所述晶圆与晶圆载具接合分离机，其特征在于：还具有至少一晶圆匣盒区，该晶圆匣盒区系相对于该晶圆定位单元。

3.根据权利要求1所述晶圆与晶圆载具接合分离机，其特征在于：还具有至少一晶圆载具匣盒区，该晶圆载具匣盒区系相邻于该晶圆载具定位单元，该晶圆载具匣盒区具有至少一晶圆载具匣盒升降模组。

4.根据权利要求1所述晶圆与晶圆载具接合分离机，其特征在于：所述晶圆定位单元具有一晶圆旋转器与一晶圆定位感应器，该晶圆定位感应器系设于该晶圆旋转器的上方。

5.根据权利要求1所述晶圆与晶圆载具接合分离机，其特征在于：所述晶圆载具供应单元具有一晶圆载具升降模组与一晶圆载具吸附模组，该晶圆载具吸附模组系设于该晶圆载具升降模组的上方。

6.根据权利要求5所述晶圆与晶圆载具接合分离机，其特征在于：所述晶圆载具供应单元还具有一晶圆载具轨道模组，该晶圆载具轨道模组系设于该晶圆载具升降模组与该晶圆载具吸附模组之间，或者该晶圆载具轨道模组系设于该晶圆载具升降模组的上方。

7.根据权利要求1所述晶圆与晶圆载具接合分离机，其特征在于：所述晶圆载具位移单元具有一线性移动模组与一晶圆载具拿持模组，该线性移动模组系位于该晶圆吸附模组的一侧，该晶圆载具拿持模组系耦接该线性移动模组，并且位于该晶圆载具拿持模组之间。

8.根据权利要求7所述晶圆与晶圆载具接合分离机，其特征在于：所述线性移动模组为一线性移动装置、一线性滑轨总成、一线性轨道移动总成或一线性链条移动总成；该晶圆载具拿持模组为一夹具总成、一钩具总成或一推具总成。

9.一种晶圆接合分离升降单元，其特征在于：其设于一晶圆载具定位单元的下方，该晶圆接合分离升降单元具有：

一升降模组；以及

一晶圆承台，其系设于该升降模组的顶端。

10.根据权利要求9所述晶圆接合分离升降单元，其特征在于：所述晶圆载具定位单元还具有晶圆载具序号读取器和晶圆序号读取器。