[实用新型]一种新型叠层式压电隔膜泵

权利要求书

1.一种新型叠层式压电隔膜泵，包括：泵体(1)、阀片(2)、中间件(3)、腔体件(4)、压电振子(5)和上盖(6)，其中：所述泵体(1)上布置有一圆柱型的凹槽(16)，在凹槽(16)的底面(161)上布置有入口阀座孔(11)和出口阀开启孔(12)，上盖(6)与泵体(1)连接，阀片(2)、中间件(3)、腔体件(4)和压电振子(5)由下到上依次布置于泵体(1)的圆柱形凹槽(16)中；所述阀片(2)为一薄片材料，布置有入口阀片(21)和出口阀片(22)，安装在泵体(1)上的圆柱形凹槽(16)的底面(161)上；所述中间件(3)上布置有入口阀开启孔(31)和出口阀座孔(32)，安装在所述圆柱形凹槽(16)内并布置在阀片(2)上方；所述腔体件(4)一侧与中间件(3)接触，另一侧与压电振子(5)接触；特点在于：上盖(6)安装后由弹性橡胶材料制成的阀片(2)和腔体件(4)被压缩形成密封，所述入口阀片(21)与泵体(1)上布置的入口阀座孔(11)和中间件(3)上布置的入口阀开启孔(31)在中间件(3)将阀片(2)压紧密封后构成入口阀(7)，所述出口阀片(22)与中间件(3)上布置的出口阀座孔(32)和泵体(1)上布置的出口阀开启孔(12)形成出口阀(8)；所述腔体件(4)与压电振子(5)连接一侧表面为中间凹陷的曲面(41)，腔体件(4)的边缘(44)与压电振子(5)接触且被压紧后形成由腔体件(4)和压电振子(5)围城的泵腔(9)，所述泵腔(9)通过入口阀(7)与入口管(14)连接，通过出口阀(8)与出口管(15)连接，所述压电振子(5)在交变电压作用下产生往复振动，泵腔(9)体积随之增大或减小，与入口阀(7)和出口阀(8)结合后，流体从入口管(14)流入，从出口管(15)流出。

2.根据权利要求1所述的新型叠层式压电隔膜泵，其特征在于：所述阀片(2)上的入口阀片(21)通过在阀片(2)上布置第一半圆环形的通孔(24)形成，出口阀片(22)通过在阀片(2)上布置第二半圆环形通孔(25)构成，同时在入口阀片(21)与阀片(2)连接处布置有入口阀片槽(211)，在出口阀片(22)与阀片(2)连接处布置有出口阀片槽(221)。

3.根据权利要求1所述的新型叠层式压电隔膜泵，其特征在于：所述入口阀座孔(11)与入口阀片(21)对应位置布置有一深度与阀片(2)压缩尺寸相同的入口阀座凹槽(111)，所述出口阀座孔(32)与出口阀片(22)对应位置布置一深度与阀片(2)压缩尺寸相同的出口阀座凹槽(321)。

4.根据权利要求1所述的新型叠层式压电隔膜泵，其特征在于：所述压电振子(5)可以采用由一片压电薄片材料(51)粘贴在弹性基板(52)上形成的单晶片压电振子，也可以采用由两片压电薄片材料(52)粘贴在弹性基板(52)两侧形成的双晶片压电振子。