[实用新型]提高高纯气体气瓶处理真空泵效率的装置有效
| 申请号： | 201420235037.8 | 申请日： | 2014-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN203835682U | 公开（公告）日： | 2014-09-17 |
| 发明（设计）人： | 刘雪峰;张辉;李小光;王鹏;赵大伟 | 申请（专利权）人： | 沈阳洪生气体有限公司 |
| 主分类号： | F04B39/16 | 分类号： | F04B39/16;F04B37/14 |
| 代理公司： | 沈阳智龙专利事务所(普通合伙) 21115 | 代理人： | 宋铁军;周智博 |
| 地址： | 110027 辽宁省*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 提高 高纯 气体 处理 真空泵 效率 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种提高高纯气体气瓶处理真空泵效率的装置，其特征在于：该装置由内而外主要分为液氮层（1）、被抽真空气体走气层（2）和绝热层（3），液氮层（1）设置在整个装置的最内层，绝热层（3）设置在三层的最外层，液氮层（1）与绝热层（3）之间形成的空腔为被抽真空气体走气层（2），被抽真空气体走气层（2）与抽真空进口（6）和抽真空出口（7）连通。
2.根据权利要求1所述的提高高纯气体气瓶处理真空泵效率的装置，其特征在于：液氮层（1）内设置有-196℃的液氮，在液氮层（1）的顶部设置有液氮进口（4）和蒸发液氮出口（5）。
3.根据权利要求1所述的提高高纯气体气瓶处理真空泵效率的装置，其特征在于：在液氮层（1）的外壁还设置有翅片管（8）。
4.根据权利要求1所述的提高高纯气体气瓶处理真空泵效率的装置，其特征在于：绝热层（3）为多层缠绕的绝热层，其厚度为δ100～150mm。
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