[实用新型]应力迁移测试结构

权利要求书

1.一种应力迁移测试结构，其特征在于，包括：n层金属互连线，每层金属互连线两端各连接一测试信号接入点，每相邻两层金属互连线之间通过一通孔连接，其中，n为大于等于2的整数。

2.如权利要求1所述的应力迁移测试结构，其特征在于，所述金属互连线的层数为3层～20层。

3.如权利要求1所述的应力迁移测试结构，其特征在于，所述n层金属互连线中，第n层金属互连线位于顶层位置，其中，连接第n层金属互连线与第n-1层金属互连线的通孔阻值最小。

4.如权利要求3所述的应力迁移测试结构，其特征在于，连接第n层金属互连线与第n-1层金属互连线的通孔截面宽度最大。

5.如权利要求3所述的应力迁移测试结构，其特征在于，当测试连接第n层金属互连线与第n-1层金属互连线的通孔阻值时，通过将第n层金属互连线与第1层金属互连线间的所有通孔阻值减去第n-1层金属互连线与第1层金属互连线间的所有通孔阻值而实现。

6.如权利要求1所述的应力迁移测试结构，其特征在于，所述金属互连线、测试信号接入点以及通孔均为铜材料结构。

7.如权利要求1所述的应力迁移测试结构，其特征在于，所述金属互连线、测试信号接入点以及通孔均为铝材料结构。

8.如权利要求1～7中任一项所述的应力迁移测试结构，其特征在于，所述应力迁移测试结构形成于晶圆的切割道上。