[实用新型]一种新型PECVD上镀膜载板

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种新型PECVD上镀膜载板，属于太阳能光伏电池制造技术领域。

背景技术

太阳电池经过制绒、扩散及PECVD 等工序后，已经制成PN 结，可以在光照下产生电流，为了将产生的电流导出，需要在电池表面上制作正、负两个电极。PECVD 工序是在硅片表面镀SiNx( 或AlOx/a-Si, 等), 而硅片需要特制的载板将硅片放置在载板上再送入PECVD机台，使用氮化硅气体对硅片表面进行上镀膜。

现有的太阳能电池载板式PECVD 镀膜设备，均采用石墨材质的载板，载板厚度较大。目前，在太阳能板制造企业中，载板的边缘棱角分明，厚度一般在5.0±0.2毫米，由于所使用的硅片厚度为0.2毫米，当使用此种上镀膜载板载入电池片时，由于载板厚度比电池片厚，当使用载板载入硅片进行镀膜时紧挨硅片边缘的载板由于厚度较大会有部分氮化硅沉积受影响而导致沉积的不均匀，使紧贴镀膜载板的电池片边缘因沉积的氮化硅厚度较薄而变红，从而出现色差现象，影响电池外观，降低了电池片良率和转换效率。   

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种新型PECVD上镀膜载板，该载板对其边缘结构进行优化处理，在保证载板承载电池片的前提下，可以减少电池片与载板的接触范围，从而减少电池片的红边现象，能够解决电池片片内色差问题。

为解决上述技术问题，本实用新型所采取的技术方案是：一种新型PECVD上镀膜载板，包括载板本体，所述载板本体为石墨材质的框架形结构，其特征在于所述载板本体的边框内沿均为斜面，边框外沿保持原有的截面，载板本体的内角处均设有卡角，所述卡角为1/4的圆弧板，其两个端面与斜面的下端平齐。

对上述结构作进一步说明，处于所述载板本体内部的框架，其表面为两个对称的斜面，两个斜面的上端重合。

对上述结构作进一步说明，所述卡角的两个直角边长相等，并且直角边与内框的长度比例为：1/10～1/15。

对上述结构作进一步说明，所述斜面的垂直方向高度与所承载的硅片高度相同，斜面的水平方向宽度为原框架宽度的1/2。

对上述结构作进一步说明，所述圆弧板的直角边向弧形边中线过渡中，其板的厚度逐渐减小，使弧形板形成中线处的厚度小于直线边处厚度。

采用上述技术方案所产生的有益效果在于：本实用新型中载板主体中的棱角进行修改，对其进行平面化处理，用平面代替棱角，可以减小PE上镀膜载板边缘的厚度，这样可以减少电池片边缘附近的石墨载板对氮化硅沉积的影响，让电池片充分且均匀的沉积氮化硅，均匀镀膜，从而改善电池片边缘红边问题，减少电池片片内色差；本实用新型中的卡角在保证承载安全的情况下，尽量使其结构简单，并且与硅片的接触面积小，因此设计为圆弧形结构，并且上下端面与斜边下边缘平且，这样可以保证硅片能够置于框架内部，避免晃动，防止损坏硅片；另外，可以把卡角的上下端面设计为曲面，从边缘向中线逐渐减薄，这样可以使弧形板的上下端面与硅片表面贴合，实现支撑。

附图说明

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是图1中卡角的另一种结构形式；

其中：1、边框内沿，2、卡角，3、边框外沿。

具体实施方式

根据附图1可知，本实用新型具体涉及一种新型PECVD上镀膜载板，包括载板本体，所述载板本体为石墨材质的框架形结构，载板本体的边框内沿1均为斜面，边框外沿3保持原有的截面，载板本体的内角处均设有卡角2，卡角2为1/4的圆弧板，其上下两个端面与斜面的下端平齐，卡角2的两个直角边长相等，并且直角边与内框的长度比例为：1/10～1/15。

本实用新型的技术方案是对载板棱角分明的边缘进行修改，用斜面代替棱角，处于所述载板本体内部的框架，其表面为两个对称的斜面，两个斜面的上端重合。该结构可以减小PE上镀膜载板边缘的厚度，在不影响载板装载电池片后的正常运输，可用此方法减小载板厚度，减少石墨载板边缘对氮化硅膜沉积的影响，导致电池片边缘的色差。