[实用新型]新型闭路循环真空机组

权利要求书

1. 新型闭路循环真空机组，其特征在于：该机组包括罗茨泵组和双级水环泵，所述罗茨泵组和双级水环泵通过管路相连，所述罗茨泵组与双级水环泵之间的管路上设有阀门和止回阀，

所述罗茨泵组由罗茨泵Ⅰ和罗茨泵Ⅱ串联而成，所述罗茨泵Ⅰ上设有总进气口，

所述双级水环泵由水环泵Ⅰ和水环泵Ⅱ连接而成，所述水环泵Ⅱ上设有总出气口。

2.根据权利要求1所述的新型闭路循环真空机组，其特征在于：所述罗茨泵Ⅰ和罗茨泵Ⅱ均包括转子、进气口和出气口，所述转子为一对，所述转子中间设有轴，所述转子互相啮合，所述罗茨泵Ⅰ和罗茨泵Ⅱ的顶部开有进气口，底部开有出气口。

3.根据权利要求1所述的新型闭路循环真空机组，其特征在于：所述水环泵Ⅰ和水环泵Ⅱ均包括转轴，叶轮和液环，所述水环泵Ⅰ和水环泵Ⅱ的底部均设有底座，所述转轴上固定有叶轮，所述叶轮外侧设有吸气口和排气口，所述排气口内部设有橡胶球，所述吸气口和排气口外侧设有液环。