[实用新型]OLED器件制造设备

权利要求书

1.OLED器件制造设备，其特征是，该设备中过度单元(1)通过闸板伐(7)连通手套箱(8)和装片单元(2)，装片单元(2)再通过闸板伐(7-1)传入样片传递转换单元(3)、样片传递转换单元(3)前后左右，各有连接口；样片传递转换单元(3)分别通过闸板伐连接到器件制备单元(4)、磁控溅射单元(5)、闸板伐(7-4)和电子束单元(6)。

2.根据权利要求1所述的OLED器件制造设备，其特征在于，清洗过的玻璃样片通过惰性气体手套箱(8)装入过度单元(1)；打开闸板伐(7)联通过度单元(1)和装片单元(2)，通过齿轮架穿过闸板伐(7)将玻璃样片传入装片单元(2)；完成交接后关闭闸板伐(7)，然后打开闸板伐(7-1)，打开样片传递转换单元(3)内的真空机械手通过闸板伐(7-1)伸入装片单元(2)把玻璃样片拖回到样片传递转换单元(3)中；打开闸板伐(7-4)通过真空机械手将玻璃样片送入电子束单元(6)，无机内耦合薄膜完成后，打开闸板伐(7-3)通过样片传递转换单元(3)内的真空机械手将玻璃样片送入磁控溅射单元(5)，ITO薄膜完成后，再通过样片传递转换单元(3)内的真空机械手穿过闸板伐(7-2)将玻璃样片送入到装片单元(2)，进行等离子体处理；之后再通过样片传递转换单元(3)内的真空机械手穿过闸板伐将玻璃样片送入到器件制备单元(4)，器件制备完毕后再通过样片传递转换单元(3)内的真空机械手穿过闸板伐(7-4)、闸板伐(7-1)将器件送入装片单元(2)，并通过齿轮架穿过闸板伐(7)进入过度单元(1)送入惰性气体手套箱(8)进行封装。