[实用新型]防止放反硅片片盒的机械手有效
申请号: | 201420248789.8 | 申请日: | 2014-05-15 |
公开(公告)号: | CN203839397U | 公开(公告)日: | 2014-09-17 |
发明(设计)人: | 李华;卢新志;沈丙志 | 申请(专利权)人: | 保定天威英利新能源有限公司;英利能源(中国)有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/687;B25J9/08 |
代理公司: | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人: | 陆林生 |
地址: | 071051 河北*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 防止 硅片 机械手 | ||
技术领域
本实用新型涉及太阳能电池片的制作装备技术领域,尤其涉及一种可防止放反硅片片盒的机械手。
背景技术
在太阳能行业,多晶硅电池生产制造的第一道工序即为制绒,制绒工序就是利用硅片的损伤层,通过硝酸与氢氟酸的混合溶液对硅片表面进行制绒。制绒工序是太阳能电池生产过程中的一个核心步骤,是利用硅片的损伤层,通过硝酸与氢氟酸的混合溶液对硅片表面进行制绒,在硅片表面形成高低不平的表面及大量的孔洞,增加电池片表面的受光面积,降低反射率,从而提高太阳能电池的光电转换效率。其主要过程:WTS装载多晶硅片→HNO3、HF制绒→风刀1→冲洗1→KOH腐蚀→风刀2→冲洗2→HF、HCl清洗→风刀3→冲洗3→不锈钢风刀吹干→WTS卸载多晶硅片。
合格的多晶硅片装载在片盒内传送至扩散工序,扩散工艺完成后在放入片盒转入湿法工序,然后通过WTS机械手传入下一个工序进行生产。在经过这些工序硅片片盒的上下方向必须始终保持一致,因为从制绒工序开始生产出的多晶硅片只有一面制绒的效果最好,所以扩散,镀膜都要在这一个面进行。无论哪个过程放反都会对硅片的效率和质量产生影响。
相关术语解释,RENA制绒设备:世界知名的太阳能设备制造商;WTS:RENA设备的全自动装卸载机械手;片盒:多晶硅片的盛放装置,(100片/盒)生产中我们也称之为“舟”。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题是提供一种防止放反硅片片盒的机械手,所述机械手通过增加光电传感器以及与之相配合的反光膜,可有效防止硅片片盒放反,造成硅片损坏,提高了生产的稳定性和产品的质量,降了生产成本。
为解决上述技术问题,本实用新型所采取的技术方案是:一种防止放反硅片片盒的机械手,包括机械手本体,其特征在于:所述机械手本体上固定有光电传感器,光电传感器通过光电传感器电路与机械手本体上的PLC控制器电连接,硅片片盒的侧面粘贴有反光膜,所述光电传感器的发射的光直接投射至反光膜处,反光膜将上述光反射至光电传感器处。
进一步优选的技术方案在于:所述反光膜固定在所述硅片片盒侧面的下部。
进一步优选的技术方案在于:所述光电传感器采用HY860型。
采用上述技术方案所产生的有益效果在于:所述机械手在现有技术的机械手本体上增加光电传感器和与之相配备的光电传感器电路,并在硅片片盒的侧面安装与光电传感器相对应的发光膜,如果片盒放反,光电传感器接收不到返回的光信号,那么机械手本体上的PLC控制器则输出警报,提醒工作人员注意,如果片盒位置正确,则光电传感器发射的光信号被反光膜所反射,然后光电传感器接收到光信号,机械手正常工作。所述机械手可有效防止硅片片盒放反,造成硅片损坏,提高了生产的稳定性和产品的质量,降了生产成本。
附图说明
下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。
图1是本实用新型的结构示意图;
图2是本实用新型中光电传感器电路的一种典型结构框图;
其中:1、机械手本体 2、光电传感器 3、硅片片盒 4、反光膜。
具体实施方式
下面结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型的一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型,但是本实用新型还可以采用其他不同于在此描述的其它方式来实施,本领域技术人员可以在不违背本实用新型内涵的情况下做类似推广,因此本实用新型不受下面公开的具体实施例的限制。
针对背景技术所指出的问题,本申请公开了一种防止放反硅片片盒的机械手,如简图1所示,包括机械手本体1,所述机械手本体是与现有技术相同的,在此不做赘述。本申请的发明点在于:所述机械手本体1上固定有光电传感器2,光电传感器的形式有多种,在本申请中光电传感器使用收发一体式光电传感器,具体的在本申请中所述光电传感器可以采用HY860型,需要说明的是光电传感器并不限于上述型号,本领域的技术人员能够根据需要进行适当的选型。
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