[实用新型]一种扩散硅片显结用酸腐蚀架具有效

专利信息
申请号: 201420251518.8 申请日: 2014-05-16
公开(公告)号: CN203882970U 公开(公告)日: 2014-10-15
发明(设计)人: 姚永红 申请(专利权)人: 南通皋鑫电子股份有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 北京汇信合知识产权代理有限公司 11335 代理人: 孙民兴
地址: 226502 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 扩散 硅片 显结用 酸腐 蚀架具
【说明书】:

技术领域

本实用新型涉及扩散硅片显结用酸腐蚀处理领域,具体涉及一种扩散硅片显结用酸腐蚀架具。

背景技术

高压二极管用硅片涂源扩散后,每批须抽样一片进行结深测量评价。该抽取硅片首先用划片机切取14*14mm的样片,置于研磨具中,然后在玻璃板上以研磨粉作直线研磨,研磨后的样片在红外灯照射下,在HF酸中处理进行显结(处理后PN结面显露出来),样片在HF酸中腐蚀中工作人员只能一个一个的处理,还要防止损坏产品,还要对自身安全做出防护,没有一种合理的工具能够有效地快捷的安全的对其进行酸处理。

发明内容

为了解决上述问题,本实用新型提出了一种扩散硅片显结用酸腐蚀架具,设计简单,使用方便,安全可靠,大大提高了样片在HF酸中腐蚀处理工作效率。

为了达到上述发明目的,本实用新型提出以下技术方案:

    一种扩散硅片显结用酸腐蚀架具,它包括手柄、架体和隔板,所述的架体是一个长方体,包括底板和四个围板,四个围板首尾相接,底板连接在围板下端,形成一个长方形凹槽,设计有若干个隔板依次连接在长方形凹槽内,形成若干个洗槽,所述的手柄连接在架体一侧,即手柄连接在一侧围板上。

    所述的种扩散硅片显结用酸腐蚀架具是采用耐腐蚀的塑料制作形成。

所述的手柄上端是圆弧状,下端是直线状,直线状连接在架体一侧的围板外侧。

本实用新型的优点是设计简单,方便工作人员把样片一一放到对应设计的洗槽内,不会损害样片,工作人员只要手捏着手柄上端圆弧状位置,不会接触酸液,安全可靠,而且依次可以酸处理7-9片,工作效率大大增加。

附图说明

图1是本实用新型的示意图。

具体实施方式

为了对本实用新型进一步说明,下面结合说明书附图来介绍:

    参照附图1,一种扩散硅片显结用酸腐蚀架具,它包括手柄1、架体2和隔板3,所述的架体是一个长方体,包括底板和四个围板,四个围板首尾相接,底板连接在围板下端,形成一个长方形凹槽,设计有若干个隔板3依次连接在长方形凹槽内,形成若干个洗槽4,所述的手柄1连接在架体2一侧,即手柄1连接在一侧围板上。

    所述的种扩散硅片显结用酸腐蚀架具是采用耐腐蚀的塑料制作形成。

所述的手柄上1端是圆弧状,下端是直线状,直线状连接在架体一侧的围板外侧。

使用本实用新型时,只需要把7-9片研磨好的样片一一放到扩散硅片显结用酸腐蚀架具内的洗槽内,然后工作人员手持手柄把其放置到酸液内,这样不但安全可靠,工作效率很高,而且酸腐蚀处理均一,结面显示清晰。

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