[实用新型]微通道板石英夹具

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种夹具，特别是一种微通道板石英夹具。

背景技术

微通道板(Micro Channel Plates，简记为MCP)是一种先进的电子倍增器件，具有体积小、重量轻、增益和分辨率高、噪声低、使用电压低等优点。微通道板的外形如一片聚集了上百万个细微的平行空心玻璃管的薄圆片，每一空心管通道的作用犹如一个连续的打拿极倍增器，薄片两端面镀有镍铬金属薄膜(电极)。

微通道板制造的基本工艺流程包括：化料——制棒管——棒管配套——拉单丝——排复丝棒——拉复丝——排屏——热压——切割、抛光——腐蚀和清洗——氢还原——蒸电极——测试。其中在抛光工序后，微通道板就已经基本成型，在这之后的制造过程中，对微通道板表面的光洁度有非常高的要求，常见的疵病有划痕、点子、破边等。现有技术在腐蚀和氢还原工序中使用的是不同的夹具，抛光后需要将微通道板装到聚四氟乙烯材质的夹具中进行强酸强碱腐蚀，然后需要再换到不锈钢夹具进行高温氢还原处理(氢还原时温度区间在400-500℃)，氢还原结束后还需要再转到聚四氟乙烯材料的夹具中进行酸清洗。现有技术虽然可以保证微通道板的生产，但是由于在腐蚀、氢还原、清洗工序中要转换两次夹具，效率比较低，且过程中容易对微通道板表面造成伤害，产生擦伤、点子、破边等疵病。

发明内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种提高周转效率，提高产品的表面质量的微通道板石英夹具。

实现本实用新型目的的技术解决方案为：一种微通道板石英夹具，包括若干相互叠加的微通道板载体，每个微通道板载体均包括支撑脚架、长方形石英固定棍和U型石英棍，所述长方形石英固定棍的下方设置四个支撑脚架，该四个支撑脚架分别位于长方形石英固定棍的四个顶角，长方形石英固定棍的下方还设置U型石英棍，该U型石英棍的两端分别与长方形石英固定棍短边的中心相连，所述长方形石英固定棍的长边与U型石英棍的底边平行，顶层微通道板载体的上方设置两个耳朵挂扣，该两个耳朵挂扣分别位于顶层微通道板载体长方形石英固定棍短边的中部。

所述支撑脚架为石英支撑脚架。所述耳朵挂扣为石英耳朵挂扣。微通道板载体的数量大于等于1。长方形石英固定棍的长边和U型石英棍的底边均开有凹槽，微通道板石英夹具同一位置对应三个凹槽，该三个凹槽所在平面与U型石英棍的底边垂直。微通道板载体的数量优选1或者2。

本实用新型与现有技术相比，具有如下显著优点为：1)本实用新型的微通道板石英夹具结构合理；2)将微通道板垂直放入夹具，微通道板只有三点与夹具接触，其有效区部位不会因与夹具产生直接接触而造成表面擦伤；3)使用三点定位的方式，能够使微通道板固定在夹具上，避免了微通道板在加工和周转过程中出现晃动，造成碎裂、破边等疵病；4)在腐蚀、氢还原、清洗工序之间不需要转换夹具，节省了工作时间，能够大大提高工作效率，有利于微通道板的批量生产；5)与不锈钢材质的夹具相比，石英材质的夹具热膨胀系数更小，有利于降低微通道板变形疵病。

附图说明

图1为微通道板石英夹具整体结构示意图。

图2为支撑脚架示意图。

图3为长方形石英固定棍示意图。

图4为U型石英棍示意图。

图5为耳朵挂扣示意图。

图6为凹槽俯视图示意图。

图7为具有两层微通道板载体的微通道板石英夹具结构示意图。

具体实施方式

本实用新型克服现有技术中存在的缺点，提供一种在抛光之后便于周转，不需要在腐蚀、氢还原及清洗过程中进行夹具转换，利于批量生产的夹具，提高周转效率，提高产品的表面质量。本实用新型的微通道板周转夹具，利用石英玻璃耐腐蚀耐高温的特性，采用石英玻璃材质，能使其浸在酸碱等腐蚀性溶液中长时间的反应，又可以直接送入几百度高温的氢还原炉中进行高温反应。石英夹具见图1，此示意图只显示放置单层形式，可根据实际情况进行调整，根据需要放置两层甚至多层。该夹具由支撑脚架、方形石英固定棍、U型支撑棍、同一平面的三点凹槽、可悬挂抓取的耳朵挂扣组成。