[实用新型]直拉法生产单晶硅用添加掺杂剂的装置

权利要求书

1.直拉法生产单晶硅用添加掺杂剂的装置，其特征在于：包括盛装掺杂剂的石英质托(8-2)，所述石英质托(8-2)通过连接件与籽晶夹头(3)活动连接。 

2.如权利要求1所述的直拉法生产单晶硅用添加掺杂剂的装置，其特征在于：所述石英质托(8-2)上设有磁性转轴(8-3)，所述磁性转轴(8-3)与连接件磁性连接。 

3.如权利要求2所述的直拉法生产单晶硅用添加掺杂剂的装置，其特征在于：所述石英质托(8-2)为板状，所述磁性转轴(8-3)设置在石英质托(8-2)的一边，所述连接件为金属套环(8-1)，所述金属套环(8-1)的环柄与石英质托(8-2)活动连接且与磁性转轴(8-3)磁力吸附。 

4.如权利要求3所述的直拉法生产单晶硅用添加掺杂剂的装置，其特征在于：所述石英质托(8-2)的一边焊接一金属套筒，所述磁性转轴(8-3)插装在该金属套筒内，所述磁性转轴(8-3)伸出金属套筒的部分与所述金属套环(8-1)的环柄磁力吸附。 

5.如权利要求3所述的直拉法生产单晶硅用添加掺杂剂的装置，其特征在于：所述金属套筒为半封闭圆柱型，所述磁性转轴(8-3)伸出金属套筒的部分与所述金属套环(8-1)的环柄磁力吸附。 

6.如权利要求2-5任一项所述的直拉法生产单晶硅用添加掺杂剂的装置，其特征在于：所述磁性转轴(8-3)为钕铁硼磁性转轴。 

7.如权利要求3-5任一项所述的直拉法生产单晶硅用添加掺杂剂的装置，其特征在于：所述金属套环(8-1)位于籽晶夹头(3)和重锤(2)两者之间。 

8.如权利要求3-5任一项所述的直拉法生产单晶硅用添加掺杂剂的装置，其特征在于：所述金属套环(8-1)的为马氏体不锈钢金属套环。