[实用新型]一种太阳能电池石墨舟

说明书

技术领域

本实用新型涉及建材领域，具体说是一种太阳能电池石墨舟。

背景技术

目前，光伏市场对晶硅电池外观要求越来越高，由于色差问题导致许多高效电池片不能满足市场外观要求，色差问题主要是指每片电池片存在颜色差异，主要由硅片薄膜厚度不同导致。现阶段管式PECVD和板式PECVD均存在镀膜色差问题，管式PECVD尤为严重，已成为影响产品良率的重要因素之一。管式镀膜色差主要和进气和加热方式有关。目前气体进气口分布在靠近炉口的不锈钢圈上，因此相对于石墨舟中间，靠近石墨舟外侧区域气体流量较大；炉管采取外部加热控温，石墨舟外侧靠近反应腔壁，因此相对于石墨舟中间位置，石墨舟外侧温度更高。以上原因导致现阶段镀膜存在的主要问题是：同一石墨舟内，最外侧舟叶镀膜膜厚偏厚，最内侧舟叶膜厚偏薄，严重时膜厚差异达到5%以上。

实用新型内容

实用新型目的：从改变石墨舟结构入手提出解决方案，并提供一种太阳能电池石墨舟，很好地改善了石墨舟的镀膜均匀性，并解决了现有石墨舟镀膜存在的外侧舟叶膜厚偏厚、内侧舟叶膜厚偏薄的问题。

技术方案：为解决上述技术问题，本实用新型所采用的技术方案是：

一种太阳能电池石墨舟，包括两个以上的舟叶，舟叶间距为渐变式结构，舟叶间距由石墨舟最外侧舟叶向石墨舟最中心舟叶依次减小：舟叶间距从石墨舟最外侧舟叶的一侧到石墨舟最中心舟叶分别用D₁、D₂、D₃...D_n表示，舟叶间距从石墨舟最外侧舟叶的另一侧到石墨舟最中心舟叶分别用D_1’、D_2’、D_3’...D_n’表示，其中，D_n与D_n’相邻；其中， D₁=D_1’＞D₂=D_2’ ＞D₃=D_3’ ...＞D_N=D_N’；且D₁ -D₂ =D₂ -D₃ = ... =D_n-1 –D_n =N。

上述技术方案有效减少了色差的产生。

    优选，10mm＞N＞0mm。

N为相邻石墨舟舟叶间距之差，N过大则等离子体放电不均匀且影响产能。

    优选，所述石墨舟叶相互平行并且以中心舟叶为对称轴对称分布。

    石墨舟其他结构、功能与常规石墨舟相同。

上述太阳能电池石墨舟的镀膜方法，包括顺序相接的如下步骤：进舟、预清洗、吹扫、测漏、第一预沉积、第一层膜沉积、吹扫、第二预沉积、第二层膜沉积、吹扫、出舟。

采用上述方法可进一步保证镀膜的均匀性。

优选，第一层膜为氧化硅膜，膜厚d1，折射率n1,第二层膜为氮氧化硅膜,膜厚d2，折射率n2,且满足d1*n1+d2*n2在150-170之间。

上述方法核心步骤为预清洗、第一预沉积、第一层膜沉积、第二预沉积、第二层膜沉积。

优选，预清洗工艺条件为：温度 300-500℃，氮气流量 0-10L/min，氨气流量 2-10L/min，压力1-2Torr,射频功率3-7kW，射频开关时间比Ton:Toff=4ms:48 ms，持续时间 100-300s。

优选，第一预沉积工艺条件为：温度 300-500℃，笑气流量 2-8L/min，硅烷流量0.5-3L/min，压力1-2Torr,持续时间 10-50s。

优选，第一层膜沉积工艺条件为：温度 300-500℃，笑气流量 2-8L/min，硅烷流量0.5-3L/min，压力1-2Torr, 射频功率3-7kW，射频开关时间比Ton:Toff=4ms:48 ms，持续时间 100-300s。

优选，第二预沉积工艺条件为：温度 300-500℃，氨气流量 2-10L/min，笑气流量 2-8L/min，硅烷流量0.5-3L/min，压力1-2Torr,持续时间 10-50s。