[实用新型]冲洗装置有效
| 申请号： | 201420260156.9 | 申请日： | 2014-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN203955603U | 公开（公告）日： | 2014-11-26 |
| 发明（设计）人： | 赵合明;刘轩 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B3/08 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 冲洗 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种冲洗装置，包含腔室，连通所述腔室的注入管道以及冲洗管道，其特征在于：还包含连接所述腔室的净化装置，所述净化装置连接所述腔室的上方，且包括进气管道和出气管道。
2.如权利要求1所述的冲洗装置，其特征在于：所述注入管道延伸至所述腔室内部并靠近所述冲洗管道。
3.如权利要求1所述的冲洗装置，其特征在于：所述注入管道从所述腔室的上方进入所述腔室，所述冲洗管道连接所述腔室的下方。
4.如权利要求1所述的冲洗装置，其特征在于：所述净化装置还包含设置于所述进气管道上的阀门。
5.如权利要求1所述的冲洗装置，其特征在于：所述净化装置还包含设置于所述出气管道上的阀门。
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