[实用新型]一种减少多晶硅铸锭炉测温偏差的装置有效
| 申请号： | 201420268398.2 | 申请日： | 2014-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN203869787U | 公开（公告）日： | 2014-10-08 |
| 发明（设计）人： | 孙海知;郭晓萌;郭宽新;朱松涛;邢国强 | 申请（专利权）人： | 奥特斯维能源（太仓）有限公司 |
| 主分类号： | G01K7/12 | 分类号： | G01K7/12 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 刘燕娇 |
| 地址： | 215434 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 减少 多晶 铸锭 测温 偏差 装置 | ||
1.一种减少多晶硅铸锭炉测温偏差的装置，所述多晶硅铸锭炉包括炉壁（1）、热场、热交换台（5）、加热器（3）、石英坩埚（2），所述的热场设于炉壁（1）内侧，所述的石英坩埚（2）设于热场内，坩埚外侧设于加热器（3）两侧，所述的坩埚设于热交换台（5）下，其特征在于：包括热电偶（6）、恒温箱（7），所述的热电偶（6）包括热电偶热端（61）、热电偶冷端（62）、导线（63），所述的热电偶（6）热端（61）热端伸入热场内，热电偶冷端（62）露出炉壁（1）外部，恒温箱（7）将热电偶（6）冷端（62）罩住，所述热电偶冷端（62）连接导线，导线将热电偶冷端（62）的信号引出至恒温箱（7）外。
2.根据权利要求1所述的一种减少多晶硅铸锭炉测温偏差的装置，其特征在于：所述的恒温箱（7）内设有温度传感器（71）。
3.根据权利要求1所述的一种减少多晶硅铸锭炉测温偏差的装置，其特征在于：所述的恒温箱（7）与热电偶冷端（62）密封连接。
4.根据权利要求1所述的一种减少多晶硅铸锭炉测温偏差的装置，其特征在于：所述的恒温箱（7）其内腔体积大于热电偶冷端（62）的体积，热电偶热端冷端（62）与恒温箱（7）内壁不接触。
5.根据权利要求1所述的一种减少多晶硅铸锭炉测温偏差的装置，其特征在于：所述的恒温箱（7）内温度为0-50℃，温差为±1℃。
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