[实用新型]一种粗抛机中心轮

说明书

技术领域

本实用新型属于单晶硅抛光片生产技术领域，主要涉及一种粗抛机中心轮。

背景技术

单晶硅抛光片是IC行业的基础材料，而抛光机是生产硅抛光片的必要设备。目前在市场上，SPEEDFAM公司生产的一种SPAW50抛光机，在国内IC行业拥有较大保有量。SPAW50粗抛机中心轮是粗抛机上的重要装置，与导轮一起准确定位了载体盘在抛光布上的位置；同时，设备通过中心轮中间的孔将抛光液供给到抛光布上。中心轮的运行状态对于生产单晶硅抛光片的品质具有极其重要的影响。在抛光生产过程中，要求中心轮除能够保证载体盘的准确定位、平稳运行以外，还要在运行过程中保证洁净、不产生颗粒，有较好的耐用性，易于维护、修理、清洁，使生产能连续进行。但在生产使用中发现，现有SPAW50粗抛机所使用的中心轮存在着以下4个问题：

1、结构复杂，故障率高，维修难度大。现有中心轮主要由外圈起定位作用的四瓣形塑料定位页片和内圈起支撑作用的轴承组成，内圈轴承又主要包含内外金属壳及金属壳内的轴承、密封环、高度定位螺栓、固定螺栓等部件，其中内层金属壳安装在大盘上起支撑中心轮作用，随大盘转动；外层金属壳支撑定位页片，并与设备中心轴软连接以定位载体盘，不随大盘转动。因中心轮位于抛光布正中央，处于高温、潮湿、有腐蚀性的环境中，且抛光液通过中心轮中间的孔流到抛光布上，使中心轮轴承易于进水、抛光液而生锈，进而产生油污、金属锈泄漏；中心轮内金属密封环易变形、高度定位螺栓易松动，使内外金属壳相对位置改变相互摩擦产生金属屑，造成抛光片沾污、划道。中心轮定位页片和外金属壳由8个螺丝连接，组装时易产生四瓣形定位页片与外金属壳相对位置偏转45度角的错误。中心轮组成的零件数过多，整体部件可靠性差，损坏后再次装配时，外壳高度难以精确定位，需多次进行装配、清洁、放在抛光布上定位的工作，组装难度大，对生产和质量有较大影响。

2、内外金属壳层间容易积存抛光液结晶、灰尘，难以清理，有产生抛光片划伤的风险；

3、中心轮和中心轴通过塑料花键接触式软连接，连接用塑料花键易变形损坏，导致中心轮定位页片旋转不到位，载体盘定位不准，进而导至抛光时载体盘摆动，产生不良抛光；

4、中心轮安装固定在大盘正中心，中心轮质量大，换布时装卸工作强度大，且安装中心轮时需在抛光布中心割一直径为250mm的圆孔，破坏了抛光布的整体性，影响抛光布实际使用效果。

实用新型内容

鉴于现有技术中使用的SPAW50粗抛光机中心轮所存在的问题，本实用新型设计提出了一种新型SPAW50粗抛机上用中心轮。中心轮内圈支撑轴采用无轴承、无密封的一体化简单设计，解决了原有设计中漏油、漏锈、内外金属壳摩擦产生金属屑、难以清洁和装配困难的问题。外圈定位页片和内圈支撑轴承采用4个螺丝连接的方式，避免了组装时产生定位页片偏转45度角的问题。中心轮和设备中心轴连接处采用螺栓固定的硬连接方式，这样首先可以保证定位页片偏转到位，准确定位载体盘；其次设备中心轴可以起到固定中心轮的作用，使中心轮不再安装固定在大盘上，不与大盘接触，换布后安装中心轮时不需将抛光布中心割孔，改善抛光布使用效果。

为实现上述发明目的，本实用新型采取的技术方案是：一种粗抛机中心轮，主要是由四瓣形定位页片及支撑轴组成，其中支撑轴为工形结构，由下端的支撑轴底座、上端的固定法兰及中间的空心连接杆构成；定位页片底部设计一个圆柱形空腔，圆柱形空腔上均布4个凹陷式设计的螺栓孔，对应定位页片的四瓣页片。支撑轴整体采用不锈钢材料制作，支撑轴底座下部设计一个10毫米高的凸台，凸台上均布4个支撑轴底座上丝孔，用以与定位页片相配合，防止定位页片在工作时产生形变造成脱落。定位页片通过过盈配合和支撑轴底座组装成一体，然后用4个螺栓固定，安装后支撑轴底座和定位页片上下表面平齐，以利于卫生清洁。支撑轴上端设计有固定法兰，用螺栓通过四个固定法兰上丝孔固定在设备的中心轴上，四个固定法兰上丝孔与定位页片上的螺栓孔对应，以保证和中心轴连接后定位页片位置准确，避免组装后定位页片出现偏转45度角的错误。

本实用新型所述的一种粗抛机中心轮，所用的组件数量很少，加工工艺简单，安装操作方便，可靠性强，有效地解决中心轮进水漏油、漏锈、难以清理及组装、更换困难的问题。中心轮采用整体结构设计，不含轴承，易于清理，减少抛光片沾污划伤风险。中心轮固定在设备中心轴上，不再与大盘接触，定位载体盘准确，更换抛光布时不需割孔，改善抛光布使用效果。降低了使用成本，提高了产品质量、工作效率。

附图说明