[实用新型]一种过滤器清洗器

说明书

技术领域

本实用新型属于直拉法硅单晶生产技术领域，主要涉及一种过滤器清洗器。

背景技术

切克劳斯基（Czochralski）法硅单晶生长技术是当今制作单晶硅的主要方法之一，这种方法采用气氛拉晶，即以真空泵提供一定的真空度，氩气作为保护气体，采用共熔法或投入法进行掺杂，控制单晶电阻率。

型号和电阻率是硅单晶的两大重要特性，少量的掺杂元素掺入硅中可以显著地改变硅的导电性能。一般情况下，掺入的杂质越多，硅的电阻率就越低。这也是硅单晶能得以广泛使用的原因。硅的导电类型分为空穴导电和电子导电，分别称为P型半导体硅和N型半导体硅。P型硅一般是掺入了硼（B）等三价元素，而N型硅则是掺入了磷（P）、锑（Sb）、砷（As）等五价元素。当要求硅单晶的电阻率需要达到很低的值时，就要向硅中掺入很多杂质元素，如重掺砷、重掺锑等。这些掺杂元素在硅中熔化后都具有一定的蒸发性，砷、锑挥蒸发性最强，磷次之，硼最难蒸发，如砷的蒸发系数为1.0×10^-2克·cm^-2·秒^-1。这些掺杂元素蒸发出液面以后会在单晶炉内发生不完全氧化，生成掺杂元素的氧化物，这些掺杂元素及其氧化物中有一些属于高毒物质，如砷及砷的氧化物、锑及锑的氧化物。单晶拉制过程中产生的这些氧化物在真空泵作用下通过排气管道进入过滤罐内，经过过滤器过滤后大部分的氧化物被过滤在过滤网上，为保证单晶拉制的顺利，每炉拉制完成后都要彻底清洗过滤器。

目前清洗过滤器的方法是在单晶拉制完成后，员工佩戴口罩或防毒面具打开过滤罐的放气阀，充至一个大气压后打开过滤罐的上盖取出过滤器，将过滤器拿到清洗池中用水枪进行冲洗，冲洗干净后的过滤器放到晾晒架上晾干。该清扫方法存在的缺点是在清洗过程中部分高毒的氧化物会附着在员工衣服及暴露的皮肤上，危害员工身体健康；部分高毒的氧化物会散落到周边环境中，污染高纯环境，影响产品质量；清洗后的过滤器晾晒时间较长，不利于生产的顺畅进行，生产效率低等问题。

实用新型内容

鉴于现有技术中所存在的问题，本实用新型设计并公开了一种过滤器清洗器，通过使用本实用新型所述的过滤器清洗器可以避免高毒氧化物对人身健康的危害，避免对高纯环境造成污染，同时保证产品质量，提高生产效率。

为实现上述发明目的，本实用新型所采取的具体技术方案是：一种过滤器清洗器，主要是由清洗筒、上盖、固定螺栓、清洗管、固定架、出水孔、托盘、排水孔、支架、可调旋转电机、进水阀门、压空进气阀门构成；其中，清洗筒内壁上装有带出水孔的清洗管，清洗管与清洗筒外部的进水阀门和压空进气阀门联接，进水压力0.15~0.2MPa，压空压力0.3~0.5MPa；清洗筒内装有两个固定架，可转动托盘装在固定架的底部；清洗筒顶部设有可活动的上盖，上盖采用固定螺栓固定在清洗筒上；清洗筒的底部由支架支撑固定，底部的一侧设有排水口，可调旋转电机安装在清洗筒底下中心位置控制托盘旋转。所述的一种过滤器清洗器，其中清洗管上出水孔直径为2mm～5mm，出水孔与出水孔的间距为10mm～30mm。所述的一种过滤器清洗器，其中可调旋转电机设有快速挡、慢速挡。

本实用新型所述的一种过滤器清洗器，操作简单，清洗彻底，安全高效，避免了高毒氧化物对员工的健康危害，同时解决了现有清洗方法中所存在的污染硅单晶生产所需的高纯环境问题，提高了产品质量及生产效率。

附图说明：

图1是本实用新型结构示意图；

图2是本实用新型与过滤器安装示意图。

图中：1、清洗筒；2、上盖；3、固定螺栓；4、清洗管；5、固定架；6、出水孔；7、托盘；8、排水孔；9、支架；10、可调旋转电机；11、进水阀门；12、压空进气阀门；13、提手；14、固定孔；15、过滤器。

具体实施方式

下面结合附图给出本实用新型的具体实施方式如下：

如图1、图2所示，本实用新型所述的一种过滤器清洗器主要是由清洗筒1、上盖2、固定螺栓3、清洗管4、固定架5、出水孔6、托盘7、排水孔8、支架9、可调旋转电机10、进水阀门11、压空进气阀门12构成；其中清洗筒1内壁上装有清洗管4，清洗管4与清洗筒1外部的进水阀门11和压空进气阀门12联接，清洗管4上设计有50～100个直径为2mm～5mm的出水孔6，出水孔6之间的间距为10mm～30mm；清洗筒1内部装有两个固定架5，可旋转托盘7装在固定架5的底部；清洗筒1顶部设有可活动的上盖2，上盖2用固定螺栓3固定在清洗筒1上，清洗筒1的底部由支架9支撑固定，清洗筒1底部的一侧设有排水口8。可调旋转电机10安装在清洗筒1底下中心位置，用以控制托盘7旋转，可调旋转电机10设计有慢速挡和快速挡。清洗过滤器15时，松开清洗筒1上的固定螺栓3，将上盖2打开，双手抓住过滤器15上的两个提手13，将过滤器15上支撑板边缘两个固定孔14对准清洗筒1内的两个固定架5，将过滤器15放到托盘7上，关闭上盖2并用固定螺栓3固定。打开可调旋转电机10并调到慢速挡，过滤器15随托盘7一起旋转，打开进水阀门11，水经过清洗管4上的出水孔6喷射到过滤器15上。水和氧化物在重力作用下流到清洗筒1底部并从排水口8排出进入污水管道，由污水处理站统一处理。5分钟后关闭进水阀门11，将可调旋转电机10调节到快速挡，这时过滤器15随托盘7高速旋转，在离心力作用下将过滤器15上大部分的水分甩干。5分钟后打开压空进气阀门12并将可调旋转电机10调节到慢速挡，利用压空将过滤器15上的水吹干，5分钟后关闭可调旋转电机10和压空进气阀门12，清洗结束，将过滤器15从清洗筒中取出。