[实用新型]一种可拆卸式手动硅片上下料装置

说明书

技术领域

本实用新型属于单晶硅抛光片生产技术领域，主要涉及一种可拆卸式手动硅片上下料装置。

背景技术

目前，单晶硅抛光片生产过程中卧式低压化学气相沉积炉采用的上下料方式主要有自动上下料方式与手动上下料方式两种。自动上料是使用自动倒片器把硅片从片盒内倒入到石英舟上，然后把上好硅片的石英舟放到自动上下料机上，通过自动上下料机把石英舟放在低压化学气相沉积炉的碳化硅桨上；手动上料是使用吸笔或干净手套把硅片从片盒内取出放在石英舟上，然后手动把石英舟放在低压化学气相沉积炉的碳化硅桨上。下料操作顺序与上料相反。其中，自动上下料使用的自动倒片器及自动上下料机，设备昂贵，每台炉子需要单独配置一台自动上下料机，提高了生产成本；且使用自动上下料时，只能采用与片盒同等槽距的石英舟，硅片的摆放方式单一，使用范围有限。手动上下料方式，操作难度小，生产成本低，同时摆放方式可以选择单片或双片（面对面）摆放，石英舟也可以选择任意槽距。但目前所采用的手动上下料方式在把放好硅片的石英舟放在低压化学气相沉积炉的碳化硅桨上的过程中，存在有石英舟或硅片掉落风险，甚至因人员站立不稳，跌落受伤或造成碳化硅桨断裂，尤其是在较高位置炉管上下料的时候风险更大。

实用新型内容

鉴于现有技术中所存在的实际问题，本实用新型设计了一种可拆卸式手动硅片上下料装置，采取在低压化学气相沉积炉净化工作台的支撑架上，在碳化硅浆的下方增加一个可拆卸上下料装置的技术方案，以克服现有技术中手动上下料过程中硅片或石英舟可能掉落的风险，提高人员操作的安全性、稳定性。

为达到上述设计目的，本实用新型采取的具体技术方案是：一种可拆卸式手动硅片上下料装置，主要由支撑三角架、支撑杆、支撑臂、片盒槽、止动螺丝、插销、垫片、内六角螺丝、止动螺母、圆头销钉构成；其中，两个支撑三脚架使用内六角螺丝、垫片固定在低压化学气相沉积炉净化工作台的支撑架上；两个支撑臂使用止动螺丝和止动螺母与支撑三角架连接在一起，支撑臂可在支撑三角支架上旋转，用插销固定，两根支撑杆采用圆头销钉固定在支撑臂上；片盒槽底部设计有凸台，方便片盒槽卡放在两个支撑杆之上。所述的一种可拆卸式手动硅片上下料装置，其中支撑杆长度尺寸为1000mm～1500mm，两根支撑杆中心距为50mm～200mm。所述的一种可拆卸式手动硅片上下料装置，其中支撑臂长度尺寸为450mm～700mm。所述的一种可拆卸式手动硅片上下料装置，其中片盒槽上部槽口长度、宽度、高度尺寸分别160mm～500mm、100mm～200mm、50mm～200mm。所述的一种可拆卸式手动硅片上下料装置，其中片盒槽底部卡槽的长度、宽度、高度尺寸分别为160mm～500mm、50mm～100mm、20mm～150mm。所述的一种可拆卸式手动硅片上下料装置，其中支撑杆、支撑臂均采用不锈钢方管制作。

本实用新型设计的可拆卸式手动硅片上下料装置结构简单，拆装方便，几乎不占用设备原有操作空间。在上下料过程中其支撑杆一定程度上也起到保护碳化硅浆的作用。片盒槽占用空间小、重量轻，卡放在支撑杆上，在支撑杆的上下料范围内滑动，可防止片盒槽掉落。

附图说明

图1为本实用新型安装位置示意图；

图2为本实用新型安装位置示意图的侧视图；

图3为支撑臂与支撑三角架组装结构示意图；

图4为片盒槽结构示意图；

图5为支持杆组装结构示意图；

图中：1、支撑三脚架，2、支撑杆，3、支撑臂，4、片盒槽，5、止动螺丝，6、插销，7、垫片，8、内六角螺丝，9、止动螺母，10、圆 头销钉，11、凸台，12、净化工作台支撑架，13、石英舟，14、碳化硅浆，15、净化工作台。

具体实施方式

下面结合附图给出本实用新型的实施方式（以BTU  7351X扩散炉为例）如下：