[实用新型]石墨纸垫压制器

说明书

技术领域

本实用新型涉及直拉单晶炉辅助设备技术领域。

背景技术

直拉单晶炉是半导体生产领域经常用到的设备，其包括炉体、坩埚、石墨加热器、导流筒，以及晶体提升装置等部件，其中石墨加热器与电极柱连接从而给坩埚加热，加热电流高达2000安，因此极有可能由于接触不良等原因导致打火现象，给设备造成损坏。为了避免打火，经常在电极柱和加热器器脚之间放入石墨纸垫，并保证松紧适度。传统技术中，通常是用手工方式刻制石墨纸垫，这样做既耽误时间又影响质量，如果石墨纸垫边缘留有毛刺，更会导致打火发生。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是针对上述现有技术的不足，提供一种石墨纸垫压制器，它通过一个机械设备实现石墨纸垫的制作，从而替代传统的手工制作方式，制作出的石墨纸垫符合要求，质量稳定，且制作过程非常快捷方便。

为解决上述技术问题，本实用新型所采取的技术方案是：一种石墨纸垫压制器，它包括底座、立柱、工作臂、外压具和内压具，其中立柱与底座固定连接，工作臂与立柱铰接，底座上设有用于石墨纸垫成型的直圆柱形压槽，外压具中央设有直圆柱形通孔，内压具设有直圆柱形压头，内压具抬起时压头前端位于压槽外，内压具全部压下时压头压入压槽内，通孔与压槽的底面半径相等，底座设有至少两个导向柱，外压具设有与导向柱相应的导向孔，导向柱穿入导向孔中，导向柱使得通孔与压槽共轴，外压具和压头只能在压槽的轴向上运动，工作臂设有对内压具施力的接触头，压制石墨纸垫时，外压具用于固定石墨纸垫原材料，内压具穿过外压具并在压槽中压出圆形的石墨纸垫。

作为优选，导向柱上设有用于将外压具抬起的复位弹簧。

作为优选，内压具与外压具之间设有传动弹簧，内压具通过传动弹簧将压力传递给外压具，下压时外压具在压头进入压槽前接触底座。

作为优选，底座设有压台，压台中央即为压槽，压台与外压具配合共同将石墨纸垫原材料固定。

作为优选，导向柱以螺纹连接方式与底座固定。

作为优选，导向柱共有两个并位于压槽两侧，该两个导向柱的底端连线与压槽的轴线相交。

采用上述技术方案所产生的有益效果在于：本实用新型能够压制直拉单晶炉用石墨纸垫，替代传统的手工制作方式，压制出的石墨纸垫质量稳定，符合要求，其压制过程简单快捷，可以节省人力、节约时间，非常便于使用。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是本实用新型的剖面图。

图中：1、工作臂；2、传动弹簧；3、内压具；4、立柱；5、压槽；6、底座；7、复位弹簧；8、外压具；9、导向柱；10、导向孔；11、压台；12、压头。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。

如图1、2所示，一种石墨纸垫压制器，它包括钢制的底座6、立柱4、工作臂1、外压具8和内压具3，其中立柱4与底座6固定连接，工作臂1与立柱4铰接，底座6上设有圆形压台11，压台11中央开有用于石墨纸垫成型的直圆柱形压槽5，外压具8中央设有直圆柱形通孔，内压具3设有直圆柱形压头12，内压具3抬起时压头12位于压槽5外，内压具3全部压下时压头12压入压槽5内，通孔与压槽5的底面半径相等，底座6设有两个导向柱9，导向柱9以螺纹连接方式与底座6固定，导向柱9位于压槽5两侧，且其底端连线与压槽5的轴线相交，外压具8设有与导向柱9相应的导向孔10，导向柱9穿入导向孔10中，导向柱9使得通孔与压槽5共轴，外压具8和压头12只能在压槽5的轴向上运动，导向柱9上还设有用于将外压具8抬起的复位弹簧7，工作臂1设有对内压具3施力的接触头，内压具3与外压具8之间设有传动弹簧2，外压具8上设有容纳传动弹簧2的凹槽，内压具3上设有用于给传动弹簧2施力的压臂，内压具3通过传动弹簧2将压力传递给外压具8，适当选择传动弹簧2和复位弹簧7的长度和劲度系数，使得下压时外压具8在压头12进入压槽5前接触底座6。

压制石墨纸垫时，先将石墨纸垫原材料放在压台11上，原材料覆盖压槽5并尽量在压槽5外围多留料，然后下压工作臂1，通过传动弹簧2的作用将使外压具8先被压下并固定住原材料，继续下压将使内压具3的压头12压入压槽5，并压出一个圆形的石墨纸垫，压制完成后，放开工作臂1，复位弹簧7和传动弹簧2将外压具8和内压具3抬起，从而可以进行下一次压制。

本实用新型用于压制直拉单晶炉用的石墨纸垫，它能够替代传统的手工制作方式，且压制出的石墨纸垫质量稳定，符合要求，其压制过程简单快捷，可以节省人力、节约时间，非常便于使用。