[实用新型]芯片清洗提升机构有效
申请号: | 201420273001.9 | 申请日: | 2014-05-26 |
公开(公告)号: | CN203839346U | 公开(公告)日: | 2014-09-17 |
发明(设计)人: | 路明;王毅 | 申请(专利权)人: | 扬州扬杰电子科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/02 | 分类号: | H01L21/02;H01L21/677 |
代理公司: | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人: | 周全 |
地址: | 225008 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 芯片 清洗 提升 机构 | ||
技术领域
本实用新型涉及芯片生产加工治具,尤其涉及芯片清洗提升机构。
背景技术
二极管芯片在生产制造过程中,有一道工序为芯片镀镍。目前,大多数公司采用的是在石英缸中将镍水加热,人工将芯片舟放置槽内作业。但为了使镍镀到芯片表面更均匀,要求操作人员必须不间断地对石英缸槽内的芯片舟进行提动。这样,既增加了员工操作的难度,也造成了镀镍外观的不稳定性。
实用新型内容
本实用新型针对以上问题,提供了一种结构简单,便于操作,提高芯片表面镀镍均匀性的芯片清洗提升机构。
本实用新型的技术方案是:所述芯片放置在芯片舟内,所述芯片舟放置在石英缸内;所述提升机构包括提篮、一对安装座和气源,所述芯片舟设在所述提篮内;
所述提篮包括本体和一对提板,所述一对提板水平设在所述本体两侧顶边的上沿,所述提板上设有一气孔一,所述提板的底面设有一对导柱,所述气孔一设在所述一对导柱的中间;
所述一对安装座分别固定连接在所述石英缸的顶面两对边的上沿,所述安装座上设有一对导孔和一气孔二,所述气孔二设在所述一对导孔的中间,所述气孔二为盲孔;
所述气孔一和气孔二的中心线一致,所述气孔一位于气孔二的上方,所述气孔一的孔径小于气孔二的孔径,所述一对导柱分别活动连接在所述一对导孔内;
所述气源分别连通所述一对提板上的气孔一。
所述提篮的本体呈框型,所述提篮的顶、底面及四周侧面呈方形框;所述提篮的一对侧面的方形框的中心设有立板,所述立板设在所述一对提板之间;
所述提篮的底面的方形框内设有十字支撑架。
所述安装座设有一对安装孔,所述安装座通过螺栓设在安装孔内连接所述石英缸。
还包括计时器,所述计时器控制所述气源。
本实用新型在清洗芯片时,替代人工手工作业做提动动作,缓解员工在做化学镀镍(或其他金属)重金属吸入,减轻操作人员的工作;气源开启,使得提篮的导柱在导孔内作上下提动动作;计时器控制提动时间,保证了工作的效率。
本实用新型使芯片表面镀层更加均匀,提高了芯片的可靠性。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图,
图2是本实用新型中
图3是图2的左视图,
图4是图3的俯视图,
图5是本实用新型中安装座的结构示意图,
图6是图5的俯视图,
图7是本实用新型的工作状态图;
图中1是提篮,11是本体,12是提板,120是气孔一,2是安装座,21是导孔,22是安装孔,23是气孔二,3是导柱,4是立板,5是支撑架。
具体实施方式
本实用新型如图1-7所示,所述芯片放置在芯片舟内,所述芯片舟放置在石英缸内;所述提升机构包括提篮1、一对安装座2和气源,所述芯片舟设在所述提篮1内;
所述提篮包括本体11和一对提板12,所述一对提板12水平设在所述本体1两侧顶边的上沿,所述提板12上设有一气孔一120,所述提板12的底面设有一对导柱3,所述气孔一120设在所述一对导柱3的中间;
所述一对安装座2分别固定连接在所述石英缸的顶面两对边的上沿,所述安装座2上设有一对导孔21和一气孔二23,所述气孔二23设在所述一对导孔21的中间,所述气孔二23为盲孔;
所述气孔一120和气孔二23的中心线一致,所述气孔一位于气孔二的上方,所述气孔一的孔径小于气孔二的孔径,所述一对导柱3分别活动连接在所述一对导孔21内;
所述气源分别连通所述一对提板上的气孔一。气源通过管道伸入气孔一和气孔二内,使得提篮作升降运动。
工作中,气源向气孔一、二内充、排气,由于气孔一的孔径小于气孔二的孔径,使得提篮的导柱在导孔内作升降动作。
所述提篮的本体呈框型,所述提篮的顶、底面及四周侧面呈方形框;所述提篮的一对侧面的方形框的中心设有立板4,所述立板设在所述一对提板之间;立板提高了提篮的结构强度,实用、可靠。
所述提篮的底面的方形框内设有十字支撑架5,支撑架5起支撑作用,同时起到在连续的升降过程中,液体防溅的作用。
所述安装座设有一对安装孔22,所述安装座2通过螺栓设在安装孔内连接所述石英缸。
还包括计时器,所述计时器控制所述气源;计时器控制气源通气的时间,提高镀镍的精确性和可靠性。
本实用新型的工作方法为:首先,技术人员将提篮安装至相关设备上,并连接好气源(工作中可以通过气缸)等装置;将设备电源打开;加入镍水,并升温至工艺设定温度;将芯片舟放置于提篮内部;按计时器开始按键,(计时器控制气缸提动时间);提动时间到发出报警声,操作人员将镀镍的芯片舟取出,完成镀镍。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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