[实用新型]一种新型薄膜电阻

权利要求书

1.一种新型薄膜电阻，其特征在于：包括散热金属底座层、设置于散热金属底座层上的绝缘基板层，所述绝缘基板层的上表面形成有一弧形槽，所述弧形槽内设有电阻膜层并且电阻膜层的顶面为平面，所述电阻膜层的顶面边缘及两侧形成有一对电极，所述电极包括：顶部电极和引出电极，所述顶部电极的上表面及裸露的电阻膜层上表面均覆盖有绝缘保护层。

2.根据权利要求1所述的一种新型薄膜电阻，其特征在于：所述散热金属底座层由铜或铝制成，所述绝缘基板层由陶瓷制成。

3.根据权利要求2所述的一种新型薄膜电阻，其特征在于：所述电阻膜层由氮化钽或镍铬合金蒸镀至绝缘基板层表面。

4.根据权利要求2所述的一种新型薄膜电阻，其特征在于：所述电极的材料为钽或镍或铜。

5.根据权利要求1所述的一种新型薄膜电阻，其特征在于：所述绝缘保护层为二氧化硅。

6.根据权利要求1-5任一项所述的一种新型薄膜电阻，其特征在于：所述电阻膜层最厚处的厚度不超过最薄处的厚度的两倍。

7.根据权利要求6所述的一种新型薄膜电阻，其特征在于：所述电阻膜层最薄处的厚度为5-10微米。

8.根据权利要求6所述的一种新型薄膜电阻，其特征在于：所述弧形槽的深度大于绝缘基板层厚度的一半。

9.根据权利要求6所述的一种新型薄膜电阻，其特征在于：所述散热金属底座层的长度大于绝缘基板层的长度。