[实用新型]超纯水废水处理装置

权利要求书

1.一种超纯水废水处理装置，其特征在于，包括依次经管路连通的缓冲水箱、增压泵、石英砂过滤器、活性炭过滤器、全自动软水器、袋式过滤器、中间水箱、中间水泵、精密过滤器、紫外线杀菌器、高压泵、一级RO装置，所述的缓冲水箱的进水管与超纯水生产系统的RO装置浓水侧连通，所述的一级RO装置的产水侧连通至超纯水原水箱，在所述的增压泵进水侧设置连通至缓冲水箱的加药管路，在所述的加药管路上旁接有pH调节装置，在所述的增压泵出水口与所述的加药管路接入点间设置有pH计，在所述的缓冲水箱底部设置有与风机连通的曝气管。 

2.如权利要求1所述的超纯水废水处理装置，其特征在于，所述的增压泵出水侧设置有连通至缓冲水箱的回管，所述的回管上设置有回水阀，在所述的回管接入点后部的管路上设置有第一控制阀。 

3.如权利要求1所述的超纯水废水处理装置，其特征在于，在所述的袋式过滤器的出水侧的管路上设置有电导率计和第二控制阀，同时，在所述的袋式过滤器的出水侧旁接有排污旁管，所述的排污旁路上设置有排污阀。 

4.如权利要求1所述的超纯水废水处理装置，其特征在于，所述的风机的进风口处设置有空气过滤器。