[实用新型]一种接触式扫描测头有效
| 申请号： | 201420298964.4 | 申请日： | 2014-06-06 |
| 公开（公告）号： | CN203929035U | 公开（公告）日： | 2014-11-05 |
| 发明（设计）人： | 仇谷烽;崔旭东 | 申请（专利权）人： | 苏州大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 陶海锋 |
| 地址： | 215123 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 接触 扫描 | ||
【权利要求书】：
1.一种接触式扫描测头，其特征在于：它包括测量杆、测量臂和旋转轴；所述的旋转轴为一个气浮轴承（5）；所述测量杆包括摆臂（3）和圆弧光栅（1），摆臂（3）的顶端为一个圆弧面, 所述圆弧面的圆心与气浮轴承（5）的旋转中心重合，圆弧光栅（1）贴合在圆弧面上，摆臂（3）的底端与气浮轴承（5）连接；摆臂（3）的二侧分别安装左限位挡块(9) 和右限位挡块(10)；圆弧光栅读数头（2）固定在测量杆的正上方,光栅读数头（2）通过引出的光栅线缆（8）与光栅信号处理装置的光栅信号输入接口连接；所述测量臂（6）的一端固定在气浮轴承（5）上，另一端安装红宝石测针（7）；气浮轴承（5）连接测量臂（6）和测量杆；气浮轴承（5）上安装有接触力调节螺母（4）。
2.根据权利要求1所述的一种接触式扫描测头，其特征在于：气浮轴承（5）的径向跳动小于0.1微米。
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