[实用新型]用于光罩化学制程的夹具

权利要求书

1.一种用于光罩化学制程的夹具，其特征在于，所述夹具包括底座，固设于底座上的导向柱，及滑动地设于导向柱上的与底座配合夹持光罩的第一夹持杆。

2.如权利要求1所述的用于光罩化学制程的夹具，其特征在于，所述底座和第一夹持杆的末端相对侧均设有卡槽，所有卡槽位于同一平面内。

3.如权利要求1所述的用于光罩化学制程的夹具，其特征在于，所述导向柱沿轴向镂空形成引导孔，第一夹持杆借由穿过引导孔的螺钉固定于导向柱上。

4.如权利要求3所述的用于光罩化学制程的夹具，其特征在于，第一夹持杆的安装螺钉的一端向底座方向延伸形成抵顶部。

5.如权利要求2所述的用于光罩化学制程的夹具，其特征在于，底座包括固设有导向柱的基部和自基部延伸而成的第二夹持杆，第二夹持杆与第一夹持杆相互平行，且末端与第一夹持杆的相对侧设有所述卡槽。

6.如权利要求5所述的用于光罩化学制程的夹具，其特征在于，第二夹持杆与第一夹持杆末端的端面在同一平面内，该平面与卡槽所在平面平行，且端面与卡槽之间形成高度相同的隔离部。

7.如权利要求5所述的用于光罩化学制程的夹具，其特征在于，所述第二夹持杆至少有两个。