[实用新型]药液回流装置

权利要求书

1.一种药液回流装置，其特征在于，包括：蚀刻槽、缓冲槽、水洗槽和储液槽；

所述缓冲槽设置于所述水洗槽和所述蚀刻槽之间，且该蚀刻槽和所述缓冲槽均与所述储液槽贯通连接；以及

所述缓冲槽和所述蚀刻槽中均设置有至少一风帘。

2.如权利要求1所述的药液回流装置，其特征在于，所述蚀刻槽内靠近其出口侧设置有所述风帘。

3.如权利要求1所述的药液回流装置，其特征在于，每个所述风帘的进风口均与风流管路连接；

经干燥压缩后的空气通过该风流管路流入每个所述风帘的进风口。

4.如权利要求3所述的药液回流装置，其特征在于，所述风流管路上设有用于控制流入每个所述风帘的干燥压缩空气流量的控制阀。

5.如权利要求1所述的药液回流装置，其特征在于，所述储液槽的顶部设有进液口，所述蚀刻槽和所述缓冲槽的底部均设有回流口，所述储液槽的进液口与所述蚀刻槽和所述缓冲槽的回流口分别通过回流管道连接。

6.如权利要求1所述的药液回流装置，其特征在于，每个所述风帘均包括上、下挡风板，内部支撑结构；所述上、下挡风板采用螺丝固定，所述上、下挡风板之间形成一风流通道，且固定后的所述上、下挡风板的两侧厚度不同，所述内部支撑结构嵌入所述上、下挡风板之间且位于厚度较厚的一侧。

7.如权利要求6所述的药液回流装置，其特征在于，所述内部制程结构为若干根铁条，且每根铁条均嵌入所述上、下挡风板之间且位于厚度较厚的一侧。

8.如权利要求6所述的药液回流装置，其特征在于，所述上、下挡风板采用PVC或者PEEK材料。

9.如权利要求1所述的药液回流装置，其特征在于，所述水洗槽内靠近入口侧设有液刀。

10.如权利要求1所述的药液回流装置，其特征在于，所述蚀刻槽和所述水洗槽内近顶部均处均设有喷淋嘴。