[实用新型]一种用于多晶硅料清洗的酸液降温装置

说明书

技术领域

本实用新型属于硅材料清洗领域，具体涉及一种用于多晶硅料清洗的酸液降温装置。

背景技术

硅材料的湿式处理只能通过高浓度的硝酸和氢氟酸实现，由于化学反应剧烈且属于强放热，而目前在硅料清洗领域，国内基本采用自然冷却、风冷或夹套冷却的方式对混合酸进行冷却，反应温度不能精确控制，冷却速度慢、效率低，不能适应大规模工业化生产的要求。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种用于多晶硅料清洗的酸液降温装置，能够克服清洗腐蚀硅料的过程中大量放热而无法满足工业快速连续生产需求的缺点；本发明构思巧妙，结构简章，能有效的缩短降温时间，增强连续作业性，安全性高，投资较少，可以稳定地控制化学反应，从而降低生产成本。

为达到上述目的，本实用新型的技术方案如下：

一种用于多晶硅料清洗的酸液降温装置，包括：

一酸槽，用于对放置的多晶硅料进行酸液清洗，

一酸副槽，用于对存储的混合酸缓存及冷却，该混合酸为氢氟酸和硝酸的混合物，

一循环管道，将所述酸槽和酸副槽连通，

所述酸副槽内设置有列管式换热器，列管式换热器的一端连接有冷却水进口，列管式换热器的另一端连接有冷却水出口。

在本实用新型的一个优选实施例中，所述列管式换热器整体蛇形排布，由一内管和一套设于内管上的外管构成。

在本实用新型的一个优选实施例中，所述冷却水进口处和冷却水出口处均设置有控制阀，且在冷却水出口处设置有酸度计。

在本实用新型的一个优选实施例中，所述酸槽和所述酸副槽上还设置有温度计和液位计，该温度计用于检测对应槽体的酸温度。

通过上述技术方案，本实用新型的有益效果是：

1.混合酸在腐蚀硅料后发热，利用冷却水循环降温，维持反应温度恒定。

2.酸液在使用过程中，通过酸槽和酸副槽循环，酸副槽中安装有冷却装置，循环泵为变频控制，可以调节酸液循环量。

3.冷却水回水管路安装有酸度计，以防止回水酸性增强腐蚀管路。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型的结构示意图。

图2为本实用新型的列管式换热器的结构示意图。

具体实施方式

为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体图示，进一步阐述本实用新型。

参照图1，一种用于多晶硅料清洗的酸液降温装置，包括：

一酸槽100，用于对放置的多晶硅料进行酸液清洗，

一酸副槽200，用于对存储的混合酸缓存及冷却，该混合酸为氢氟酸和硝酸的混合物，

一循环管道300，将所述酸槽100和酸副槽200连通，其中循环管道300上安装有循环泵310，用于将酸副槽调节完毕的混合酸送至酸槽

所述酸副槽200内设置有列管式换热器400，列管式换热器400的一端连接有冷却水进口410，列管式换热器的另一端连接有冷却水出口420；冷却水进口处和冷却水出口处均设置有控制阀430，且在冷却水出口处设置有酸度计440；

酸槽100和酸副槽200上还设置有温度计110和液位计120，该温度计110用于检测对应槽体的酸温度。

氟塑料材质的列管式换热器400，冷却介质为冷却水，该冷却装置可与酸液直接进行热交换，换热效率高，且对酸液质量无影响。

酸副槽200内酸液为静止无压状态，而冷却水压力为0.3MPa，故一般不会出现酸液对冷却水管道系统的腐蚀。为安全考虑，在冷却水回水管道安装有酸度计440，安全连锁控制阀430。

参照图2，列管式换热器400整体蛇形排布，由一内管410和一套设于内管上的外管420构成。

设备达到工况需求补酸完成后，酸液暂存至酸副槽。温度计检测酸液温度，若温度符合清洗要求，控制阀将处于关闭状态，循环泵(可变频)匀速小流量运转，保持酸槽液位达到清洗液位。