[实用新型]一种具有导电氧化锌铝薄膜的OLED器件及其蒸镀装置

权利要求书

1.一种具有导电氧化锌铝薄膜的OLED器件，包括金属阴极层(3)、电子传输层(4)、有机发光层(5)、空穴注入层(6)、半透明阳极层(7)和基板(10)，其特征在于，还包括抗反射层(1)、氧化锌铝薄膜层一(2)、氧化锌铝薄膜层二(8)和阻挡涂层(9)，所述基板(10)上为阻挡涂层(9)，阻挡涂层(9)上设置至少一层氧化锌铝薄膜层二(8)，氧化锌铝薄膜层二(8)上为半透明阳极层(7)，半透明阳极层(7)上为空穴注入层(6)，空穴注入层(6)上为有机发光层(5)，有机发光层(5)上为电子传输层(4)，电子传输层(4)上为金属阴极层(3)，金属阴极层(3)上设置至少一层氧化锌铝薄膜层一(2)，氧化锌铝薄膜层一(2)上为抗反射层(1)。

2.根据权利要求1所述的具有导电氧化锌铝薄膜的OLED器件，其特征在于，包括抗反射层(1)、氧化锌铝薄膜层一(2)、金属阴极层(3)、电子传输层(4)、有机发光层(5)、空穴注入层(6)、氧化锌铝薄膜层二(8)、阻挡涂层(9)和基板(10)，所述基板(10)上为阻挡涂层(9)，阻挡涂层(9)上设置至少一层氧化锌铝薄膜层二(8)，氧化锌铝薄膜层二(8)上为空穴注入层(6)，空穴注入层(6)上为有机发光层(5)，有机发光层(5)上为电子传输层(4)，电子传输层(4)上为金属阴极层(3)，金属阴极层(3)上设置至少一层氧化锌铝薄膜层一(2)，氧化锌铝薄膜层一(2)上为抗反射层(1)。

3.基于权利要求1或2所述的具有导电氧化锌铝薄膜的OLED器件的蒸镀装置，包括衬底(11)、真空室(12)、蒸镀物质(16)和真空泵(17)，其特征在于，还包括加热电阻(14)和蒸发池(15)，所述蒸发池(15)为一面开口的立方体或圆柱体结构，所述加热电阻(14)均匀分布在所述蒸发池(15)的其他非开口面的侧壁中，所述衬底(11)设置于真空室(12)上部，且位于真空室(12)上部中间位置的衬底(11)平行于真空室(12)上壁朝下设置，位于真空室(12)上部边缘位置的衬底(11)倾斜向下设置，蒸镀物质(16)盛放于蒸发池(15)中，所述真空室(12)底部至少设置一个真空泵(17)。

4.根据权利要求3所述的具有导电氧化锌铝薄膜的OLED器件的蒸镀装置，其特征在于，所述位于真空室(12)上部边缘位置的衬底(11)与水平方向的倾斜角度A为5-45度。