[实用新型]单晶炉用加热器有效
申请号: | 201420322912.6 | 申请日: | 2014-06-17 |
公开(公告)号: | CN203923458U | 公开(公告)日: | 2014-11-05 |
发明(设计)人: | 李靖;周锐;胡燕恒 | 申请(专利权)人: | 西安隆基硅材料股份有限公司 |
主分类号: | C30B29/06 | 分类号: | C30B29/06;C30B15/14 |
代理公司: | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人: | 罗笛 |
地址: | 710100 陕西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 单晶炉用 加热器 | ||
技术领域
本实用新型属于单晶炉制造设备技术领域,涉及一种单晶炉用加热器。
背景技术
随着世界经济的不断发展,现代化建设对高效能源需求不断增长。光伏发电作为绿色能源以及人类可持续发展的主要能源的一种,日益受到世界各国的重视并得到大力发展。单晶硅片作为光伏发电的基础材料的一种,有着广泛的市场需求。单晶硅棒的拉制过程中,加热器对于提供晶体生长所需的温度梯度起到至关重要的作用。广泛应用于单晶炉的一种加热器是在大块的石墨胚体上加工出具有多个纵向槽的圆筒形结构,该加热器电阻均匀,无法调节沿轴向不同位置的发热量。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种单晶炉用加热器,以解决现有加热器无法提供沿轴向不同位置的发热量的问题。
本实用新型所采用的技术方案是,单晶炉用加热器,包括电极对和连接于该电极对之间的发热体,发热体包括沿发热体的轴向设置的纵向发热部和垂直于发热体的轴线方向设置的横向发热部,横向发热部的长度之和大于纵向发热部的长度之和。
本实用新型的特点还在于,
横向发热部与纵向发热部的分布相对于发热体的中心轴线对称。
在发热体的轴线方向同一高度处,横向发热部连续或间断分布于同一个圆周上。
沿发热体的轴线方向,远离电极对的横向发热部的纵截面积小于靠近电极对的横向发热部的纵截面积。
发热体与电极对为分体式相互连接的结构,或者发热体与电极对成型于一体。
发热体为一体成型。
发热体由多个发热拼接块拼接而成,横向发热部或者横向发热部与纵向发热部的连接体构成发热拼接块。
在发热拼接块相互拼接处,纵向发热部向靠近电极对的方向延伸出拼接凸出体,横向发热部远离电极对的一侧开设有拼接槽,一个发热拼接块的纵向发热部的拼接凸出体容置于另一个发热拼接块的横向发热部的拼接槽内。
纵向发热部具有贯穿拼接凸出体的第一连接孔,横向发热部具有与拼接槽相连通的第二连接孔,单晶炉用加热器还包括多个固定杆,固定杆依次插入一对配合的拼接凸出体及拼接槽的第一连接孔及第二连接孔中。
单晶炉用加热器还包括多个锁固件,多个锁固件与多个固定杆一一对应配合,将固定杆固定于发热拼接块。
本实用新型的加热器结构新颖,横向发热部对发热起主导作用,通过调整横向发热部的纵截面积,即可调节沿轴向不同位置的发热量。
本实用新型具有如下有益效果:
1.本实用新型单晶炉用加热器的横向发热部与纵向发热部的分布相对于发热体的中心轴线对称,可提供沿发热体的中心轴线对称分布的温度梯度。
2.本实用新型单晶炉用加热器的横向发热部的长度之和大于纵向发热部的长度之和,横向发热部对发热起主导作用,通过调整横向发热部的纵截面积,即可调整加热器沿轴向不同位置的发热量。
3.本实用新型单晶炉用加热器的发热体采用多个发热拼接块拼接形成,一方面可方便地对轴向不同高度处的横向发热部的横截面形状及大小进行调配,另一方面该拼接结构成本低廉,发生损坏时仅需进行局部更换即可。
4.本实用新型单晶炉用加热器的发热体可以为一体成型,电极对与发热体也可以成型于一体,该加热器不仅可以形成沿中心轴线对称分布且轴向温度可变的梯度,还具有结构稳固、性能可靠等优点。
附图说明
图1是本实用新型的单晶炉用加热器的第一实施例加热器的结构示意图;
图2是本实用新型第一实施例的加热器的分解示意图;
图3是图2中III处的局部放大图;
图4是本实用新型的单晶炉用加热器的第二实施例加热器的结构示意图;
图5是本实用新型的单晶炉用加热器的第三实施例加热器的结构示意图。
图中,10.加热器,11.电极对,12.发热体,13.固定组件,101.下端,102.上端,110.第一电极,111.第二电极,120.纵向发热部,121.横向发热部,122.拼接凸出体,123.第一连接孔,124.拼接槽,125.第二连接孔,126.第一发热拼接块,127.第二发热拼接块,128.第三发热拼接块,130.固定杆,131.锁固件。
具体实施方式
下面结合附图和多个实施例对本实用新型的加热器进行详细说明。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于西安隆基硅材料股份有限公司,未经西安隆基硅材料股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201420322912.6/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种喷丝板
- 下一篇:一种电刷镀镀笔阳极装置