[实用新型]晶片装配抗氧化装置有效
申请号: | 201420325167.0 | 申请日: | 2014-06-18 |
公开(公告)号: | CN203882975U | 公开(公告)日: | 2014-10-15 |
发明(设计)人: | 胡庆伟 | 申请(专利权)人: | 四川蓝彩电子科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 成都金英专利代理事务所(普通合伙) 51218 | 代理人: | 袁英;詹权松 |
地址: | 629000 四川*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 晶片 装配 氧化 装置 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种晶片装配装置,特别是涉及一种晶片装配抗氧化装置。
背景技术
在电子电路中经常用到半导体二极管,它在许多电路中起着重要的作用,是诞生最早的半导体器件之一,常用于整流、隔离、稳压、极性保护、编码控制、调频调制和静噪等电路中,应用非常广泛。晶体三极管是内部含有两个PN结,并且具有放大功能的特殊器件,晶体三极管在电路中对信号具有放大和开关作用,应用也十分广泛。
二极管晶片和三极管晶片在生产的过程中,需要将晶片原料盘中的晶片取出并装配到接料引线上。装配时,需要提供高温环境,这样一来高温会导致晶片的氧化,会直接影响成品的合格率。
实用新型内容
本实用新型的目的在于克服现有技术的不足,提供一种新型的晶片装配抗氧化装置,在装配晶片时向高温密封装配舱内注入氢气、氮气等抗氧化气体,避免晶片在高温环境下被氧化。
本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现的:晶片装配抗氧化装置,它包括高温密封装配舱,高温密封装配舱内设置有用于放置接料引线的支架,晶片装配在接料引线上;所述的高温密封装配舱的壁上设置有至少一个抗氧化气体导入口,抗氧化气体导入口通过安装组件固定安装在高温密封装配舱的壁上。
所述的抗氧化气体导入口有两个,一个是氢气导入口,另一个是氮气导入口。
所述的安装组件包括相互配合的法兰盘A和法兰盘B,法兰盘A通过密封垫圈a压紧于高温密封装配舱的壁上,法兰盘B通过密封垫圈b压紧于高温密封装配舱的壁上。
所述高温密封装配舱的壁上还设置有抽真空口,抽真空口通过真空管连接抽真空泵。
本实用新型的有益效果是:
1)在装配晶片时向高温密封装配舱内注入氢气、氮气等抗氧化气体,可有效避免晶片在高温环境下被氧化;
2)换气方式采用抽真空泵,先将高温密封装配舱内的空气排空形成负压,再通过抗氧化气体导入口注入抗氧化气体,气密性好,抗氧化气体不易泄露;
3)安装组件采用法兰结构,结构简单、成本低,且设置了密封垫圈,进一步提高了高温密封装配舱的气密性。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图;
图2为本实用新型安装组件结构示意图;
图中,1-高温密封装配舱,2-接料引线,3-支架,4-晶片,5-抗氧化气体导入口,6-安装组件,7-法兰盘A,8-法兰盘B,9-密封垫圈a,10-密封垫圈b,11-抽真空口,12-真空管。
具体实施方式
下面结合附图进一步详细描述本实用新型的技术方案,但本实用新型的保护范围不局限于以下所述。
如图1所示,晶片装配抗氧化装置,它包括高温密封装配舱1,高温密封装配舱1内设置有用于放置接料引线2的支架3,晶片4装配在接料引线2上;所述的高温密封装配舱1的壁上设置有至少一个抗氧化气体导入口5,抗氧化气体导入口5通过安装组件6固定安装在高温密封装配舱1的壁上。
作为优选,所述的抗氧化气体导入口5有两个,一个是氢气导入口,另一个是氮气导入口。
如图2所示,所述的安装组件6包括相互配合的法兰盘A7和法兰盘B8,法兰盘A7通过密封垫圈a9压紧于高温密封装配舱1的壁上,法兰盘B8通过密封垫圈b10压紧于高温密封装配舱1的壁上。
所述高温密封装配舱1的壁上还设置有抽真空口11,抽真空口11通过真空管12连接抽真空泵。
本实用新型在使用时,先通过抽真空口11将高温密封装配舱1内的空气排空形成负压,再通过抗氧化气体导入口5注入抗氧化气体氢气、氮气等。
以上所述仅是本实用新型的优选实施方式,应当理解本实用新型并非局限于本文所披露的形式,不应看作是对其他实施例的排除,而可用于各种其他组合、修改和环境,并能够在本文所述构想范围内,通过上述教导或相关领域的技术或知识进行改动。而本领域人员所进行的改动和变化不脱离本实用新型的精神和范围,则都应在本实用新型所附权利要求的保护范围内。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造