[实用新型]一种适用于RTR阴极导电轮防上铜结晶的电镀设备

权利要求书

1.一种适用于RTR阴极导电轮防上铜结晶的电镀设备，其特征在于：包括酸洗槽、电镀槽、基板，所述酸洗槽内设有阴极导电轮，所述阴极导电轮包括上阴极导电轮和下阴极导电轮，所述上阴极导电轮位于所述基板上方并与所述基板上表面贴合，所述下阴极导电轮位于所述基板下方并与所述基板下表面贴合，所述上阴极导电轮上方设有喷管，所述喷管通过一管道与所述酸洗槽连接，所述管道上设有水泵，所述下阴极导电轮下方设有浸泡盒，所述浸泡盒位于所述酸洗槽内。

2.根据权利要求1所述的一种适用于RTR阴极导电轮防上铜结晶的电镀设备，其特征在于：所述上阴极导电轮与所基板上表面呈50°包覆角贴合，所述下阴极导电轮与所基板下表面呈50°包覆角贴合。

3.根据权利要求2所述的一种适用于RTR阴极导电轮防上铜结晶的电镀设备，其特征在于：所述酸洗槽与所述电镀槽隔开，所述酸洗槽内装有酸洗液，所述电镀槽内装有电镀溶液。

4.根据权利要求3所述的一种适用于RTR阴极导电轮防上铜结晶的电镀设备，其特征在于：所述电镀槽上设有上下相对放置的数个阳极盒，所述基板从上下相对放置的阳极盒之间穿过。

5.根据权利要求2所述的一种适用于RTR阴极导电轮防上铜结晶的电镀设备，其特征在于：所述基板上、下表面均设有与之贴合的输送滚轮。