[实用新型]消除毛细管堵塞的装置有效
申请号: | 201420330721.4 | 申请日: | 2014-06-19 |
公开(公告)号: | CN203991539U | 公开(公告)日: | 2014-12-10 |
发明(设计)人: | 宋健 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 |
主分类号: | B08B9/027 | 分类号: | B08B9/027;B08B13/00;G01N30/88 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
地址: | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 消除 毛细管 堵塞 装置 | ||
1.一种消除毛细管堵塞的装置,其特征在于,包括进液管以及容置清洗液的清洗瓶,所述进液管的一端连接毛细管,所述进液管的另一端插入所述清洗瓶内容置的清洗液中。
2.如权利要求1所述的消除毛细管堵塞的装置,其特征在于,还包括出液管以及容置废液的废液瓶,所述出液管的一端连接所述毛细管,所述出液管的另一端插入所述废液瓶中。
3.如权利要求2所述的消除毛细管堵塞的装置,其特征在于,所述出液管的另一端位于所述废液的液面之上。
4.如权利要求1所述的消除毛细管堵塞的装置,其特征在于,所述毛细管在进液管与出液管之间的安装方向与所述毛细管使用时进样的方向相反。
5.如权利要求1所述的消除毛细管堵塞的装置,其特征在于,还包括进气管以及设置于所述进气管上的压力平衡阀,所述进气管插入所述清洗瓶中。
6.如权利要求2所述的消除毛细管堵塞的装置,其特征在于,还包括设置于所述出液管上的单向三通阀。
7.如权利要求6所述的消除毛细管堵塞的装置,其特征在于,所述单向三通阀呈T型,包括第一接口、第二接口与第三接口,所述第二接口垂直于所述第一接口与所述第三接口。
8.如权利要求7所述的消除毛细管堵塞的装置,其特征在于,所述单向三通阀的第一接口通过出液管连接至毛细管,第二接口通过出液管连接至废液瓶。
9.如权利要求8所述的消除毛细管堵塞的装置,其特征在于,还包括导管以及蠕动泵,所述单向三通阀的第三接口通过所述导管连接至所述蠕动泵。
10.如权利要求9所述的消除毛细管堵塞的装置,其特征在于,还包括设置于所述第二接口上的瓣膜,通过所述瓣膜使所述毛细管至所述废液瓶为单向通道。
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