[实用新型]一种用于盘状物的支撑装置

权利要求书

1.一种用于盘状物的支撑装置，安装在半导体工艺设备晶圆传送系统中晶圆存储台的上端，用于支撑圆盘状的晶圆，包括安装在所述存储台上端的环形支撑环，安装在支撑环圆周的向心滑行槽中支撑晶圆的若干支撑脚，其特征在于，所述支撑脚为L形，其L形竖直部分的上端设有晶圆支撑面和所述晶圆支撑面外侧背靠的外倾斜面，所述晶圆支撑面、外倾斜面各由至少一个面构成，所述外倾斜面的上端具有水平端面，所述支撑脚的L形水平部分与所述支撑环安装连接；所述滑行槽的底面设有调节所述支撑脚沿所述支撑环向心方向距离的贯通腰形孔，所述支撑脚的L形水平部分设有安装孔，所述支撑脚的所述安装孔通过穿过所述支撑环的所述腰形孔的紧固件与所述支撑环连接；其中，所述支撑脚按其L形竖直部分位于外侧、L形水平部分位于内侧的向心方向安装在所述支撑环的所述滑行槽中。

2.如权利要求1所述的用于盘状物的支撑装置，其特征在于，所述支撑脚的L形竖直部分的上端设有一梯台，所述梯台的台面为所述晶圆支撑面，所述梯台的台面外侧背靠有一面向所述支撑环圆心的外倾斜面，所述梯台的台面具有向所述外倾斜面延伸的与所述外倾斜面相切的圆弧过渡面，所述外倾斜面分别与所述梯台的侧面及所述支撑脚L形竖直部分的外侧面相交。

3.如权利要求2所述的用于盘状物的支撑装置，其特征在于，所述支撑脚的所述外倾斜面的上端具有水平端面，所述水平端面与所述外倾斜面的交线处具有圆弧面。

4.如权利要求2或3所述的用于盘状物的支撑装置，其特征在于，所述支撑脚的外侧棱角具有圆弧面。

5.如权利要求1所述的用于盘状物的支撑装置，其特征在于，所述支撑脚的L形竖直部分的上端设有一梯台，所述梯台的台面为所述晶圆支撑面，所述梯台的台面外侧背靠有由二个相交斜面构成的外倾斜面，所述外倾斜面的二个相交斜面的交线形成凸出的顶角线，所述顶角线与所述支撑脚的轴对称中心面重合；所述外倾斜面的二个相交斜面分别与所述梯台及所述支撑脚L形竖直部分的外侧面相交。

6.如权利要求1所述的用于盘状物的支撑装置，其特征在于，所述晶圆支撑面为由二个相交的向所述支撑环内侧方向下倾的斜面构成，所述晶圆支撑面的二个相交斜面的交线形成凸出的顶角线，所述顶角线与所述支撑脚的轴对称中心面重合；二个相交的所述斜面外侧背靠有一面向所述支撑环圆心的外倾斜面，所述外倾斜面分别与二个相交的所述斜面及所述支撑脚L形竖直部分的外侧面相交。

7.如权利要求1所述的用于盘状物的支撑装置，其特征在于，所述晶圆支撑面为由二个相交的向所述支撑环内侧方向下倾的斜面构成，所述晶圆支撑面的二个相交斜面的交线形成凸出的顶角线；所述晶圆支撑面外侧背靠有由二个相交斜面构成的外倾斜面，所述外倾斜面的二个相交斜面的交线形成凸出的顶角线；所述晶圆支撑面的二个相交斜面的顶角线与所述外倾斜面的二个相交斜面的顶角线相交，并与所述支撑脚的轴对称中心面重合；所述外倾斜面分别与所述晶圆支撑面及所述支撑脚L形竖直部分的外侧面相交。

8.如权利要求1所述的用于盘状物的支撑装置，其特征在于，所述支撑脚的L形水平部分设有贯通的螺纹安装孔，所述支撑脚的所述安装孔通过穿过所述支撑环的所述腰形孔的紧固螺钉与所述支撑环连接。

9.如权利要求8所述的用于盘状物的支撑装置，其特征在于，所述紧固螺钉在所述支撑脚的所述安装孔内的安装高度不高于所述支撑脚的L形水平部分的上端面。

10.如权利要求1所述的用于盘状物的支撑装置，其特征在于，所述支撑脚的L形水平部分的底面设有安装孔，所述安装孔为螺纹盲孔，所述支撑脚的所述安装孔通过穿过所述支撑环的所述腰形孔的紧固螺钉与所述支撑环连接。