[实用新型]一种气体流量配比控制系统

权利要求书

1.一种气体流量配比控制系统，其特征在于，包括依次连接的气源进口(1)、过滤器(2)、气流控制系统、及气体出口，其中，所述气流控制系统包括多个并联设置的气路单元，每个所述气路单元包括依次连接的流量校准阀(3)、二通电磁阀(4)、限流阀(6)，所述过滤器(2)与所述气流控制系统之间还连接有气压控制系统。

2.根据权利要求1所述的气体流量配比控制系统，其特征在于，所述气压控制系统包括步进电机(8)、控制单元(10)、压力传感器(7)、以及连接在所述过滤器(2)与所述流量校准阀(3)之间的可调减压阀(9)，所述压力传感器(7)的一端连接在所述可调减压阀(9)的出口与所述流量校准阀(3)之间，所述压力传感器(7)的另一端连接所述控制单元(10)，所述控制单元(10)连接所述步进电机(8)，所述步进电机(8)连接所述可调减压阀(9)；

所述压力传感器(7)检测所述可调减压阀(9)的出口处的气体压力，并将该压力数据反馈给所述控制单元(10)，所述控制单元(10)根据接收到的所述压力数据控制所述步进电机(8)，进而控制所述可调减压阀(9)的弹簧压缩量，以实现对所述可调减压阀(9)的输出气体压力调控。

3.根据权利要求2所述的气体流量配比控制系统，其特征在于，所述步进电机(8)的输出轴连接有齿轮变速系统，所述齿轮变速系统的输出轴连接所述可调减压阀(9)的调节轴，所述调节轴压缩所述可调减压阀(9)的弹簧，以调节所述可调减压阀(9)的输出气体压力。

4.根据权利要求1所述的气体流量配比控制系统，其特征在于，所述气流控制系统中的所述气路单元的流量从小至大依次排列，且后一个所述气路单元的输出气体流量为前一个所述气路单元的输出气体流量的2倍。

5.根据权利要求4所述的气体流量配比控制系统，其特征在于，后一个所述气路单元中的所述限流阀(6)的阀孔孔径为前一个所述气路单元中的所述限流阀(6)的阀孔孔径的倍。

6.根据权利要求1所述的气体流量配比控制系统，其特征在于，所述二通电磁阀(4)设置有电磁阀工作指示灯(5)。