[实用新型]晶硅片切割液清洁度在线检测装置

权利要求书

1.一种晶硅片切割液清洁度在线检测装置，包括过滤池、清洁度监测机构；其特征是：所述清洁度监测机构包括设置于所述过滤池内的清洁度检测计、与该清洁度检测计对应连接的主控单元，在所述过滤池的底部设置有出液口，该装置还包括与所述出液口对应连通的离心泵，在所述离心泵的出口端设有回流阀、排液阀，所述回流阀、排液阀与所述主控单元对应连接，所述离心泵经由对应的继电器与所述主控单元对应连接。

2. 如权利要求1所述的晶硅片切割液清洁度在线检测装置，其特征是：所述过滤池由无色透明的工程塑料制成。

3.如权利要求2所述的晶硅片切割液清洁度在线检测装置，其特征是：在所述过滤池侧壁设置有灯箱，并在所述灯箱内设置有灯管。

4.如权利要求1所述的晶硅片切割液清洁度在线检测装置，其特征是：所述清洁度监测机构还包括与所述主控单元对应连接的上位机。

5.如权利要求4所述的晶硅片切割液清洁度在线检测装置，其特征是：所述清洁度监测机构还包括与所述主控单元对应连接的用于显示清洁度结果的显示设备。

6.如权利要求5所述的晶硅片切割液清洁度在线检测装置，其特征是：所述主控单元为PLC，所述显示设备为显示屏，所述显示屏经由对应的A/D转换器与所述主控单元对应连接。