[实用新型]中空轴测角仪装置

权利要求书

1.一种中空轴测角仪装置，其特征在于：测角仪轴系采用中空结构，包括壳体(1)、内盘合件(2)、外盘合件(3)、左侧蜗杆(5)以及右侧蜗杆(4)，其中内盘合件(2)与外盘合件(3)分别固定在壳体(1)上，内盘合件(2)、外盘合件(3)与壳体(1)形成测角仪轴系中空结构，中空结构内部预留电气线缆的走线空间；左侧蜗杆(5)以及右侧蜗杆(4)分别与内盘合件(2)上的内蜗轮(21)、外盘合件(3)上的外蜗轮(31)啮合，内盘合件(2)上安装载晶台转动装置，外盘合件(3)上安装X射线CCD探测器和驱动探测器的电机，壳体(1)上安装X射线发生装置；外盘合件(3)的外旋转盘(32)同心转动套装在内盘合件(2)的内旋转盘(22)外。

2.按权利要求1所述的中空轴测角仪装置，其特征在于：所述内盘合件包括内蜗轮(21)、内旋转盘(22)、内开式拖链轴承(23)、内固定盘(25)、内压盘(26)、内轨道(27)以及遮挡片(28)，其中内固定盘(25)安装在测角仪的壳体(1)上，内固定盘(25)外槽与内旋转盘(22)内槽将内开式拖链轴承(23)和内轨道(27)固定在其形成的空间槽里，通过内压盘(26)将内固定盘(25)外槽与内旋转盘(22)压紧、连接，内蜗轮(21)安装在内旋转盘(22)上，左侧蜗杆(5)由电机驱动通过内蜗轮(21)带动内旋转盘(22)转动。

3.按权利要求2所述的中空轴测角仪装置，其特征在于：内开式拖链轴承(23)设有四个钢圈，代替内环及外环，通过轴承保持架保持轴承安装位置，轴承在轴承保持架内自由转动，带有轴承的轴承保持架通过四个钢圈固定在内、外环的开口槽内。

4.按权利要求2所述的中空轴测角仪装置，其特征在于：所述内旋转盘(22)上还固定有第一遮挡片(28)，第一遮挡片(28)上有开口，通过光耦输出信号。

5.按权利要求2所述的中空轴测角仪装置，其特征在于：所述内固定盘(25)上有凹槽，其内设有可防止灰尘进入内开式拖链轴承(23)槽内的防尘毛毡(24)。

6.按权利要求1所述的中空轴测角仪装置，其特征在于：所述外盘合件(3)包括外开式拖链轴承(33)、外轨道(37)、外固定盘(35)以及外旋转盘(32)，其中外固定盘(35)安装在壳体(1)上，外固定盘(35)的内槽与外旋转盘(32)的外槽将外开式拖链轴承(33)和外轨道(37)固定在其形成的空间槽里，通过外压盘(36)将外固定盘(35)外槽与外旋转盘(32)压紧、连接，外蜗轮(31)安装在外旋转盘(32)上，右侧蜗杆(4)由电机驱动通过外蜗轮(31)带动外旋转盘(32)转动。

7.按权利要求6所述的中空轴测角仪装置，其特征在于：所述外旋转盘(32)上还固定有第二遮挡片(34)，第二遮挡片(34)上有开口，通过光耦输出信号。

8.按权利要求1所述的中空轴测角仪装置，其特征在于：从载晶台到壳体(1)，在内部形成用于走线的空间。

9.按权利要求1所述的中空轴测角仪装置，其特征在于：所述壳体(1)总体为一长方形框架，框架上端面设有圆柱形凹槽，框架的下端面向上端面方向凸起一上面开口的圆锥台，圆柱形凹槽与圆锥台之间的空间安装内盘合件(2)及外盘合件(3)；壳体(1)侧面两端分别安装由右侧蜗杆(4)、左侧蜗杆(5)组成的两个蜗杆调整机构；X射线发生装置固定在壳体(1)的右侧蜗杆(4)侧。

10.按权利要求9所述的中空轴测角仪装置，其特征在于：所述蜗杆调整机构具有轴承(41)、蜗杆保护套(44)、弹簧压片(45)、支撑轴(46)以及支撑块(48)带V型槽，蜗杆通过轴承(41)固定在蜗杆保护套(44)上，蜗杆保护套(44)与电机支座(47)连接，电机支座(47)上安装有同轴的支撑轴(46)，支撑轴(46)圆柱面与支撑块(48)的V型槽槽面贴合，通过弹簧压片(45)压紧，蜗杆以支撑轴(46)为摆动中心进行摆动；在蜗杆保护套(44)前段，弹簧柱塞(43)通过固定块(42)顶在蜗杆保护套(44)上，通过调整弹簧柱塞(43)，蜗杆绕V型槽摆动，改变与蜗轮的啮合间隙。