[实用新型]NOx传感器芯片有效
| 申请号： | 201420357889.4 | 申请日： | 2014-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN203929705U | 公开（公告）日： | 2014-11-05 |
| 发明（设计）人： | 王广平;王贵强;韩庆;王峥;王红勤;沈准 | 申请（专利权）人： | 东风电子科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/407 | 分类号： | G01N27/407 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 201114 上海市闵行区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | nox 传感器 芯片 | ||
1.一种NOx传感器的芯片，其特征在于，由基片层叠构成，包括第一基片、第二基片、第三基片、第四基片、第五基片以及第六基片从上到下依次叠压，
所述的第一基片上表面设有泵氧外电极，所述的泵氧外电极上覆盖第一多孔保护层；
所述的第二基片中包含第一空腔、第二空腔、第三空腔和第四空腔；
所述的第一空腔与所述的第二空腔之间设有第一气体扩散障层，所述的第二空腔与所述的第三空腔之间设有第二气体扩散障层，所述的第三空腔与所述的第四空腔之间设有第三气体扩散障层，所述的第三空腔内设有主泵氧电极，所述的第四空腔内设有辅助泵氧电极和测试电极，所述的测试电极上覆盖第二多孔保护层；
所述的第四基片设有与大气相连的参比气体通道，位于所述的参比气体通道的顶部且位于所述的第三基片的下表面设有参比电极；
所述的第五基片与所述的第六基片之间设有加热电极。
2.根据权利要求1所述的NOx传感器的芯片，其特征在于，所述的主泵氧电极为对NOx化合物无催化作用的金属陶瓷主泵氧电极。
3.根据权利要求1所述的NOx传感器的芯片，其特征在于，所述的辅助泵氧电极为对NOx化合物无催化作用的金属陶瓷辅助泵氧电极。
4.根据权利要求1所述的NOx传感器的芯片，其特征在于，所述的基片为5YSZ基片。
5.根据权利要求1所述的NOx传感器的芯片，其特征在于，所述的测试电极为Pt-Pd测试电极或Pt-Rh测试电极。
6.根据权利要求1所述的NOx传感器的芯片，其特征在于，所述的泵氧外电极以及所述的参比电极均为Pt电极。
7.根据权利要求1所述的NOx传感器的芯片，其特征在于所述第二多孔保护层为氧化铝多孔保护层或者氧化锆多孔保护层。
8.根据权利要求1所述的NOx传感器的芯片，其特征在于，所述加热电极的上下表面都覆有绝缘层。
9.根据权利要求8所述的NOx传感器的芯片，其特征在于，所述绝缘层为致密氧化铝绝缘层。
10.根据权利要求1所述的NOx传感器的芯片，其特征在于，所述的第一扩散障层、所述的第二扩散障层以及第三扩散障层均为氧化锆扩散障层。
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