[实用新型]一种硅掺杂砷化镓单晶直拉炉

权利要求书

1.一种硅掺杂砷化镓单晶直拉炉，包括炉体和设置于炉体内的提拉杆（1），其特征在于：所述提拉杆（1）的下方设置有内坩埚（2），内坩埚（2）下方还设置有可升降的外坩埚（3），所述外坩埚（3）直径大于内坩埚（2）直径，且内坩埚（2）设置有穿透埚体并延伸至外坩埚（3）的连通管道（4），所述连通管道（4）将内坩埚（2）和外坩埚（3）连通。

2.如权利要求1所述的硅掺杂砷化镓单晶直拉炉，其特征在于：所述连通管道（4）位于内坩埚（2）底部位置。

3.如权利要求1或2所述的硅掺杂砷化镓单晶直拉炉，其特征在于：所述连通管道（4）的内径为4mm-6mm。

4.如权利要求1或2所述的硅掺杂砷化镓单晶直拉炉，其特征在于：所述连通管道（4）位于外坩埚（3）段的长度大于2cm。

5.如权利要求4所述的硅掺杂砷化镓单晶直拉炉，其特征在于：所述连通管道（4）位于外坩埚（3）段的长度为5cm。

6.如权利要求1或2或 5所述的硅掺杂砷化镓单晶直拉炉，其特征在于：所述提拉杆（1）、内坩埚（2）、外坩埚（3）和连通管道（4）共轴心设置。

7.如权利要求5所述的硅掺杂砷化镓单晶直拉炉，其特征在于：所述内坩埚（2）可旋转设置于炉体内。