[实用新型]一种真空设备隔绝阀门装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种阀门装置，具体为一种真空设备隔绝阀门装置。 

背景技术

为了使连续的制程中有不同的真空条件,在现有技术中,是通过在一个真空设备中设置多数个串联的真空区域,两个相邻真空区域之间分别安装一个阀门,当工件在其中一个真空区域中加工时，其两侧需以阀门关闭做为阻隔,以独立的控制此真空区域内的真空条件,以满足作业需求,而加工完成后，需要重新开启出口侧闸门,以允许加工件送往下一个真空区域，进行下一个加工作业，依此类推，以达到连续加工的目的。 

现有技术的缺点为：盘型弹簧安装不方便，且弹力无法达到要求，并且在闸门关闭时，气密度不佳。 

实用新型内容

针对上述技术问题，本实用新型公开一种真空设备隔绝阀门装置，包括：阀门板1，以及连接在所述阀门板1上的多个阀门臂2，所述阀门板1和阀门臂2之间通过螺旋形弹簧3相连接，所述螺旋形弹簧3与阀门臂2之间以螺栓4相连接。 

本实用新型的有益效果是通过改变阀门板与阀门臂之间的连接弹簧以及连接方式，有效提高了气密度，在运作过程中更顺畅，易于调整，并且所述装置结构简单，维修方便。 

附图说明

图1是本实用新型所述真空设备隔绝阀门装置的侧视结构示意图； 

图2是本实用新型所述真空设备隔绝阀门装置的正面结构示意图。 

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型做进一步的详细说明，以令本领域技术人员参照说明书文字能够据以实施。 

如图1、图2所示，本实用新型公开一种真空设备隔绝阀门装置，包括：阀门板1，以及连接在所述阀门板1上的多个阀门臂2，所述阀门板1和阀门臂2之间通过螺旋形弹簧3相连接，所述螺旋形弹簧3与阀门臂2之间以螺栓4相连接。各个螺旋形弹簧3上下排列，设置在下方的螺旋形弹簧3的长度要大于设置在上方的螺旋形弹簧3，以更好的提高气密性，运作过程更顺畅。 

尽管本实用新型的实施方案已公开如上，但其并不仅仅限于说明书和实施方式中所列运用，它完全可以被适用于各种适合本实用新型的领域，对于熟悉本领域的人员而言，可容易地实现另外的修改，因此在不背离权利要求及等同范围所限定的一般概念下，本实用新型并不限于特定的细节和这里示出与描述的图例。