[实用新型]一种陶瓷用双开门真空镀膜机有效
| 申请号： | 201420362826.8 | 申请日： | 2014-07-02 |
| 公开（公告）号： | CN204058586U | 公开（公告）日： | 2014-12-31 |
| 发明（设计）人： | 曾小颖 | 申请（专利权）人： | 曾小颖 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 362500 福建省*** | 国省代码： | 福建;35 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 陶瓷 双开 真空镀膜 | ||
【权利要求书】：
1.一种陶瓷用双开门真空镀膜机，包括真空室、弧蒸发源、真空系统、水冷系统和气路系统，所述真空室由固定设置的真空室本体和可装卸工件的室门组成，其特征在于：所述室门设有两个，两个室门分别铰接于真空室本体的左、右两侧，该真空室本体及室门的外壁设有水冷槽，所述弧蒸发源的弧靶安装在真空室本体及室门上。
2.根据权利要求1所述的陶瓷用双开门真空镀膜机，其特征在于：所述真空室本体及真空门采用不锈钢组焊而成。
3.根据权利要求1所述的陶瓷用双开门真空镀膜机，其特征在于：所述真空系统包括主泵、维持泵、粗抽泵和增压泵。
4.根据权利要求3所述的陶瓷用双开门真空镀膜机，其特征在于：所述真空系统的主泵为真空扩散泵、维持泵为旋片泵、粗抽泵为滑阀泵、增压泵为罗茨泵。
5.根据权利要求1所述的陶瓷用双开门真空镀膜机，其特征在于：所述气路系统上设有空气滤化器。
6.根据权利要求1所述的陶瓷用双开门真空镀膜机，其特征在于：还包括有一个电气控制系统，所述电气控制系统由人机界面及可编程控制器组成，弧蒸发电源、气路控制系统和真空控制系统的控制端与控制器连接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于曾小颖，未经曾小颖许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201420362826.8/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种车床进刀箱镗模
- 下一篇：一种主气囊盖板及汽车
- 同类专利
- 专利分类
