[实用新型]一种4寸静电卡盘

权利要求书

1.一种4寸静电卡盘，包括圆柱形负电极基体（1）、正电极卡盘基座（2）、绝缘套（3）、负极导电柱（4）、水道密封盖板（5），其特征在于：所述的正电极卡盘基座（2）内部设置有圆柱形负电极基体（1），正电极卡盘基座（2）右侧设置有水道密封盖板（5）；圆柱形负电极基体（1）通过绝缘套（3）、绝缘螺丝、负极导电柱（4）与正电极卡盘基座（2）连接。

2.根据权利要求1所述的一种4寸静电卡盘，其特征在于：所述的圆柱形负电极基体（1）为圆柱体，圆柱形负电极基体（1）右侧设置有装载晶片的平面A（1-1）；圆柱形负电极基体（1）左侧平面上由内到外依次设置有中心位置的通孔、涂绝缘胶的沟槽（1-2）、在圆周上均布的4个螺纹孔、涂绝缘胶的沟槽（1-2），4个螺纹中3个为用于装配时定位和固定用的孔（1-3），1个为导电孔（1-4）。

3.根据权利要求1所述的一种4寸静电卡盘，其特征在于：所述的正电极卡盘基座（2）为阶梯轴，阶梯轴小端平面上设置有装载晶片的平面B（2-1）,装载晶片的平面B（2-1）上由内到外依次设置有圆周均布的通氦气直孔（2-4）、环形槽；装载晶片的平面B（2-1）右侧平面中心设置有盲孔，盲孔的圆柱面上设置有通氦气斜孔（2-3），通氦气斜孔（2-3）与装载晶片的平面B（2-1）相通；装载晶片的平面B（2-1）右侧平面上设置有环形槽，环形槽内设置有加热冷却水道（2-2）。

4.根据权利要求1所述的一种4寸静电卡盘，其特征在于：所述的绝缘套（3）为阶梯轴，阶梯轴小端圆柱面为与正电极卡盘基座紧配的外层（3-1）；绝缘套（3）内设置有通孔（3-2）。

5.根据权利要求1所述的一种4寸静电卡盘，其特征在于：所述的负极导电柱（4）为阶梯轴，阶梯轴小端为与圆柱形负电极基体（1）连接的螺纹部分（4-1），阶梯轴大端为接电部分（4-2）。

6.根据权利要求1所述的一种4寸静电卡盘，其特征在于：所述的水道密封盖板（5）为阶梯轴，阶梯轴大端平面上设置有数个圆周均布的固定用孔（5-2）；水道密封盖板（5）内部设置有阶梯孔；水道密封盖板（5）左侧由内到外依次设置有密封面（5-1）、环形槽、密封面（5-1），环形槽内设置有进水孔（5-3）、出水孔（5-4），进水孔（5-3）与出水孔（5-4）的中心在同一直径的圆上且对称布置，进水孔（5-3）与出水孔（5-4）之间的夹角为β，夹角β设置为直角。

7.根据权利要求1所述的一种4寸静电卡盘，其特征在于：所述的圆柱形负电极基体（1）的材质采用6061铝合金。

8.根据权利要求1所述的一种4寸静电卡盘，其特征在于：所述的正电极卡盘基座（2）和水道密封盖板（5）的材质均采用铝合金。

9.根据权利要求1所述的一种4寸静电卡盘，其特征在于：所述的绝缘套（3）的材质采用杜邦材料。

10.根据权利要求1所述的一种4寸静电卡盘，其特征在于：所述的负极导电柱（4）的材质采用无氧铜，加工后表面镀银镀金。