[实用新型]用于管式PECVD的石墨舟自动装卸片装置

权利要求书

1.一种用于管式PECVD的石墨舟自动装卸片装置，设于PECVD设备上，其特征在于：包括用于拾取硅片的插片头组件、带动所述插片头组件沿Z轴旋转的Z轴旋转运动机构、带动所述Z轴旋转运动机构于竖直方向上下运动的Z轴直线运动机构、带动所述Z轴直线运动机构沿X轴向旋转的X轴旋转运动机构以及设于所述X轴旋转运动机构上方且可带动所述X轴旋转运动机构于前、后、左、右移动的XY水平移动机构。

2.如权利要求1所述的用于管式PECVD的石墨舟自动装卸片装置，其特征在于：所述插片头组件包括真空发生器、与所述真空发生器出口连通的导气管以及多个与所述导气管连通的吸盘。

3.如权利要求2所述的用于管式PECVD的石墨舟自动装卸片装置，其特征在于：所述插片头组件还包括若干平行设置的固定板以及连接各所述固定板的汇流板，各所述固定板上均设有所述的吸盘，所述汇流板上设有可分别向各固定板的吸盘供气的气管接头，各所述气管接头与所述导气管连通。

4.如权利要求3所述的用于管式PECVD的石墨舟自动装卸片装置，其特征在于：各所述固定板上的吸盘为三个，且三个吸盘呈三角形排列。

5.如权利要求1所述的用于管式PECVD的石墨舟自动装卸片装置，其特征在于：所述Z轴旋转运动机构包括第一伺服电机、与所述第一伺服电机的输出轴连接的第一减速器，所述插片头组件与所述第一减速器的输出轴固定连接。

6.如权利要求5所述的用于管式PECVD的石墨舟自动装卸片装置，其特征在于：所述Z轴直线运动机构包括Z轴滑轨、第二伺服电机、与所述第二伺服电机的输出轴连接的Z轴丝杆、与所述Z轴丝杆配合的Z轴螺母、与所述Z轴螺母连接的Z轴滑块，所述Z轴滑块滑设于所述Z轴滑轨上；所述第一减速器固定于所述Z轴滑块上。

7.如权利要求6所述的用于管式PECVD的石墨舟自动装卸片装置，其特征在于：所述X轴旋转运动机构包括第三伺服电机、与所述第三伺服电机的输出轴连接的第二减速器以及与所述第二减速器的输出轴连接的旋转轴，所述Z轴滑轨与所述旋转轴固定连接。

8.如权利要求7所述的用于管式PECVD的石墨舟自动装卸片装置，其特征在于：所述X轴旋转运动机构还包括一框架，所述框架包括相对设置的两侧板以及连接于所述两侧板顶端的顶板，所述旋转轴的两端分别旋转固定于所述两侧板上，所述顶板固定于所述XY水平移动机构下方。

9.如权利要求8所述的用于管式PECVD的石墨舟自动装卸片装置，其特征在于：所述XY水平移动机构包括相对设置的两Y轴滑轨、跨设于所述两Y轴滑轨上的X轴双滑轨、设于所述X轴双滑轨一端的第四伺服电机、与所述第四伺服电机的输出轴连接的X轴丝杆、与所述X轴丝杆配合的X轴螺母、与所述X轴螺母连接的X轴滑块，所述顶板固定于所述X轴滑块下方。

10.如权利要求9所述的用于管式PECVD的石墨舟自动装卸片装置，其特征在于：其中一所述Y轴滑轨为双滑轨，所述XY水平移动机构还包括设于所述双滑轨一端的第五伺服电机、与所述第五伺服电机的输出轴连接的Y轴丝杆、与所述Y轴丝杆配合的Y轴螺母、与所述Y轴螺母连接的第一Y轴滑块，所述X轴双滑轨的一端置于所述第一Y轴滑块上，另一所述Y轴滑轨上设有第二Y轴滑块，所述X轴双滑轨的另一端置于所述第二Y轴滑块上。