[实用新型]一种连续式真空紫外光臭氧表面清洗与氧化改性设备

权利要求书

1. 一种连续式真空紫外光臭氧表面清洗与氧化改性设备，包括工艺腔（3），以及设置在工艺腔（3）内的紫外光光源系统（5），其特征在于， 还包括预热腔（2）、冷却腔（4）；所述预热腔（2）和冷却腔（4）壁面上开有保护气入口（14,16），所述工艺腔（3）壁面上开有氧气进气口（15）；所述工艺腔（3）设置在预热腔（2）和冷却腔（4）之间并通过腔室门（11,12）隔开，所述预热腔（2）进料口和冷却腔（4）的出料口也设有相应的腔室门（10,13）；所述预热腔（2）、工艺腔（3）、冷却腔（4）内以及预热腔（2）的进料口（8）和冷却腔（4）的出料口（9）处均设有可将被处理样品按需要从预热腔（2）进料口（8）传送至冷却腔（4）出料口（9）的上下料传送系统（1）；所述预热腔（2）、工艺腔（3）、冷却腔（4）通过管道和阀门与真空系统（6,17）相连；所述预热腔（2）、工艺腔（3）内设有加热系统。

2. 根据权利要求1所述的连续式真空紫外光臭氧表面清洗与氧化改性设备，其特征在于，所述工艺腔（3）内安装有真空传感器、温度传感器、臭氧浓度传感器。

3. 根据权利要求1所述的连续式真空紫外光臭氧表面清洗与氧化改性设备，其特征在于，所述紫外光光源系统（5）采用一组具有特定波长的紫外光灯管，与被处理样品传送方向平行或者垂直排列而形成一个面光源。

4. 根据权利要求3所述的连续式真空紫外光臭氧表面清洗与氧化改性设备，其特征在于，所述紫外光灯管上方装有反射板，在反射板上方设有冷却系统。

5. 根据权利要求1所述的连续式真空紫外光臭氧表面清洗与氧化改性设备，其特征在于，所述真空系统采用两个真空泵，一个真空泵连接工艺腔（3），一个真空泵连接预热腔（2）和冷却腔（4）。

6. 根据权利要求1所述的连续式真空紫外光臭氧表面清洗与氧化改性设备，其特征在于，所述上下料传送系统包括五组传送机构，一组位于进料口（8）处，一组位于出料口（9）处，预热腔（2）、工艺腔（3）、冷却腔（4）内各设有一组；每组传送机构均采用链轮和链条带动滚轴的传动方式，每根滚轴上安置多个小滚球，使小滚球仅与被处理样品两侧的边缘部分点接触。

7. 根据权利要求1所述的连续式真空紫外光臭氧表面清洗与氧化改性设备，其特征在于，所述加热系统为设置在预热腔（2）的上下料传送系统和工艺腔（3）的上下料传送系统下方的平板式陶瓷加热片。

8. 根据权利要求2所述的连续式真空紫外光臭氧表面清洗与氧化改性设备，其特征在于，还包括自动控制与检测系统，该自动控制与检测系统分别与所述真空传感器、温度传感器、臭氧浓度传感器通过信号线相连。

9. 根据权利要求5所述的连续式真空紫外光臭氧表面清洗与氧化改性设备，其特征在于，各真空泵与相应的工艺腔（3）、预热腔（2）和冷却腔（4）相连的管道上均相应地装有挡板阀（18,19,20）；与工艺腔（3）相连的真空泵与工艺腔（3）之间的连接管道上设有蝶阀（21）。

10. 根据权利要求3或4所述的连续式真空紫外光臭氧表面清洗与氧化改性设备，其特征在于，相邻两根紫外光灯管间距为5mm~10mm，紫外光灯管与被处理样品之间的垂直距离为10mm~80mm。