[实用新型]一种由常通向常断状态转换的固态电子开关

权利要求书

1.一种由常通向常断状态转换的固态电子开关，其特征在于，所述固态电子开关包括：衬底(1)、控制桥(2)、绝缘层(3)、金属互联(7)、被控桥(4)、钝化层(5)、一对控制电极(21)焊盘(62)和一对被控电极(41)焊盘(64)；其中，控制桥(2)形成在衬底(1)上，包括一对控制电极(21)，以及连接二者的控制桥区(22)；绝缘层(3)覆盖在控制桥(2)上；绝缘层(3)上与控制桥(2)的一对控制电极(21)正对的位置设置有多个通孔，形成通孔阵列；被控桥(4)形成在绝缘层(3)上，包括一对被控电极(41)，以及连接二者的被控桥区(42)；一对被控电极(41)与一对控制电极(21)的位置不重叠；被控桥区(42)覆盖控制桥区(22)发生电爆的位置；钝化层(5)形成在被控桥(4)上；在钝化层(5)中，分别与一对控制电极(21)和一对被控电极(41)相对的地方设置有焊盘通孔，一对控制电极(21)焊盘(62)和一对被控电极(41)焊盘(64)分别通过焊盘通孔嵌入钝化层(5)；金属互联(7)通过绝缘层(3)上的通孔阵列，将一对控制电极(21)分别与一对控制电极(21)焊盘(62)电学互联；一对被控电极(41)分别与一对被控电极(41)焊盘(64)相接触形成电学互联；一对控制电极(21)焊盘(62)分别连接至控制电路的两端；一对被控电极(41)焊盘(64)分别连接至被控电路的两端。

2.如权利要求1所述的固态电子开关，其特征在于，所述控制桥(2)的厚度不超过2μm，长度不超过400μm。

3.如权利要求1所述的固态电子开关，其特征在于，所述被控桥(4)的厚度不超过2μm，长度不超过400μm。

4.如权利要求1所述的固态电子开关，其特征在于，所述控制桥(2)的控制桥区(22)，或者被控桥(4)的被控桥区(42)，形状为矩形，宽度在2μm～40μm之间。

5.如权利要求1所述的固态电子开关，其特征在于，所述控制桥(2)的控制桥区(22)，或者被控桥(4)的被控桥区(42)，形状为中间窄两端宽的结构，并且为轴对称的图形，中间的最小宽度在2μm～40μm，两端的最大的宽度在40μm～400μm。

6.如权利要求1所述的固态电子开关，其特征在于，所述钝化层(5)的材料采用与CMOS工艺相兼容的绝缘抗氧化材料。

7.如权利要求1所述的固态电子开关，其特征在于，所述绝缘层(3)的厚度在0.5μm～2μm之间。